[发明专利]一种基板检测装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及检测技术领域，特别是涉及一种基板检测装置及方法。

背景技术

目前，平板显示装置在生产时，许多密封连续的生产设备并未设置基板检测环节。如果将有残缺或者裂痕的基板用于生产，势必会影响到产品的品质，而且还会造成生产成本的浪费。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种基板检测装置及方法，以准确、快速地检测基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。

本发明实施例提供了一种基板检测装置，包括线光源发光装置和反射光接收装置，其中：

所述线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，所述入射光随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；

所述反射光接收装置接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。

在本发明实施例的技术方案中，线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，入射光可随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；反射光接收装置被设置为接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，并且可以在反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板存在残缺或者裂痕等缺陷时，反射光接收装置可及时发出基板存在缺陷报警信号，相比现有技术，本方案提供的基板检测装置可以准确、快速地检测出基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。

所述反射光接收装置，具体用于当所述反射光的实际接收区段存在断点时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板的内部区域存在残缺或者裂痕等缺陷时，由于反射界面发生改变，反射光接收装置的某个接收位置必然无法正常接收到反射光，因此，实际接收区段会存在断点，可据此判断出基板存在缺陷。

所述反射光接收装置，具体用于当所述反射光的实际接收区段的长度小于标准接收区段的长度时，发出基板存在缺陷报警信号。当基板的周边区域存在缺陷时，由于反射界面不完整或者发生改变，反射光接收装置的实际接收区段的长度会小于标准接收区段的长度，可据此判断出基板存在缺陷。

优选的，基板检测装置还包括：导轨，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置滑动装配于所述导轨；以及驱动所述线光源发光装置和所述反射光接收装置同步移动的第一驱动装置。在该方案中，可将基板停驻于线光源发光装置和反射光接收装置的下方，线光源发光装置和反射光接收装置同步移动，对基板表面进行扫描检测。可通过调整线光源发光装置和反射光接收装置的间距来调整入射角的大小。

具体的，所述线光源发光装置通过第一连接杆与导轨上所设置的第一滑块连接，所述反射光接收装置通过第二连接杆与导轨上所设置的第二滑块连接。

较佳的，所述线光源发光装置与所述第一连接杆枢接，所述反射光接收装置与所述第二连接杆枢接；所述基板检测装置还包括：驱动所述线光源发光装置和所述反射光接收装置同步旋转的第二驱动装置。在该方案中，可将基板停驻于线光源发光装置和反射光接收装置的下方，线光源发光装置和反射光接收装置同步旋转，对基板表面进行扫描检测。可通过调整线光源发光装置和反射光接收装置的夹角来调整入射角的大小。

可选的，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置水平设置，或者，所述线光源发光装置和所述反射光接收装置与水平面具有夹角。

可选的，所述线光源发光装置包括红外线光源发光装置。

本发明实施例还提供了一种基板检测方法，包括：

以设定的入射角向基板发射线光入射光，并使所述入射光扫描基板表面；

接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光，当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，确定基板存在缺陷。

通过上述基板检测方法，可以准确、快速地检测出基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。

其中，所述入射光扫描基板表面可通过如下方式实现：

基板停驻不动，使所述入射光相对基板移动或者旋转；或者

所述入射光的位置不变，使基板相对入射光移动。

附图说明

图1为本发明第一实施例基板检测装置的检测原理示意图；

图2为本发明第二实施例基板检测装置的检测原理示意图；

图3为本发明第三实施例基板检测装置的检测原理示意图；

图4为入射光扫描到基板缺陷位置时的光路示意图。

附图标记：

1-线光源发光装置