[发明专利]感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件在审
申请号: | 201510070740.7 | 申请日: | 2015-02-11 |
公开(公告)号: | CN104849962A | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 黄伟杰;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 贾静环 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 聚硅氧烷 组合 保护膜 具有 元件 | ||
1.一种感光性聚硅氧烷组合物,其特征在于,其包括:
聚硅氧烷(A);
邻萘醌二叠氮磺酸酯(B);
含酰胺酸基的硅烷化合物(C);以及
溶剂(D),
其中所述聚硅氧烷(A)是由式(1)所示的化合物聚缩合来形成,
Si(R1)W(OR2)4-W
式(1)
式(1)中,R1各自独立表示氢原子、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至15的芳香基、含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基;R2各自独立表示氢原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基或碳数为6至15的芳香基;w表示选自0、1、2、3的整数。
所述含酰胺酸基的硅烷化合物(C)是由式(2)来表示,
式(2)中,R3及R3’各自独立表示碳数为1至6的烷基、经取代的碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的烷氧基、经取代的碳数为1至6的烷氧基、苯基、经取代的苯基、苯氧基或经取代的苯氧基;R4及R4’各自独立表示碳数为1至10的二价有机基;R5表示碳数为2至20的有机基。
2.权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物,其中,于式(1)中,R1至少一者为含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基。
3.权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物,其中,基于所述聚硅氧烷(A)的使用量为100重量份,所述邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的使用量为1至30重量份,所述含酰胺酸基的硅烷化合物(C)的使用量为0.1至10重量份,并且所述溶剂(D)的使用量为100至1200重量份。
4.权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物,更包括含氮的杂环化合物(E),所述含氮的杂环化合物(E)选自由式(3)、式(4)、式(5)及式(6)表示的化合物所组成的族群,
式(3)、式(4)、式(5)及式(6)中,X1与X2各自独立表示氢原子、酰基或烷基;R6至R14各自独立表示氢原子、羟基、羧酸基、磺酸基、烷基、氨基、卤素原子或巯基;m、n、q、s各自独立表示选自0、1、2、3的整数;p、r各自独立表示选自0、1、2的整数;t、u各自独立表示选自0、1、2、3、4的整数。
5.权利要求4所述的感光性聚硅氧烷组合物,其中,基于聚硅氧烷(A)的使用量为100重量份,所述含氮的杂环化合物(E)的使用量为0.05至2重量份。
6.一种保护膜,其特征在于,其包括权利要求1~5中任一项所述的感光性聚硅氧烷组合物。
7.一种具有保护膜的元件,其特征在于,其包括元件以及权利要求6所述的保护膜,其中所述保护膜覆盖在所述元件上。
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