[发明专利]力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置

权利要求书

1.一种力检测装置，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板；

第一电荷输出元件，其根据外力输出信号；

固定部件，其对设置于所述第一基板与所述第二基板之间的所述第一电荷输出元件进行夹持，并对所述第一电荷输出元件施加压力；以及

第二电荷输出元件，其设置于所述第一基板与所述固定部件之间，并根据与通过所述固定部件施加于所述第一电荷输出元件的压力的方向相同的方向的外力成分来输出电荷，

在从所述第一基板的厚度方向观察时，针对所述第一电荷输出元件配置有至少一对所述固定部件。

2.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，

在所述第一基板的厚度方向上，所述第一电荷输出元件的中心与所述第二电荷输出元件的中心不同。

3.根据权利要求1或者2所述的力检测装置，其特征在于，

通过所述固定部件施加于所述第一电荷输出元件的压力的方向与施加于所述第二电荷输出元件的压力的方向相同，

在所述第一基板被施加与通过所述固定部件施加于所述第一电荷输出元件的压力的方向相同的方向的外力时，所述第一电荷输出元件与所述第二电荷输出元件将所述外力作为相互相反方向的力而检测。

4.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，

所述第一基板具有用于将所述第一基板安装于第一对象物的第一安装部，

所述第二基板具有用于将所述第二基板安装于第二对象物的第二安装部，

在从所述第一基板的厚度方向的投影图像中，所述第一安装部的影子、所述第二安装部的影子、以及所述第一电荷输出元件的影子重叠。

5.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，

所述固定部件是具有头部的螺钉，

所述第二电荷输出元件设置于所述第一基板与所述头部之间。

6.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，

具有检测部，该检测部基于从所述第一电荷输出元件输出的信号以及从所述第二电荷输出元件输出的信号来检测修正后的外力。

7.根据权利要求6所述的力检测装置，其特征在于，

所述检测部通过取得基于从所述第一电荷输出元件输出的信号求出的电压与基于从所述第二电荷输出元件输出信号求出的电压之差，来检测修正后的外力。

8.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，

具有多个所述第一电荷输出元件，

所述各第一电荷输出元件在所述第一基板或者所述第二基板的周向被配置成隔开等角度间隔。

9.一种力检测装置，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板；

第一电荷输出元件，其根据外力输出信号；

固定部件，其对设置于所述第一基板与所述第二基板之间的所述第一电荷输出元件进行夹持，并对所述第一电荷输出元件施加压力；以及

第二电荷输出元件，其设置于所述第一基板与所述固定部件之间，并根据与通过所述固定部件施加于所述第一电荷输出元件的压力的方向相同的方向的外力成分来输出电荷，

在所述第一基板的厚度方向上，所述第一电荷输出元件的中心与所述第二电荷输出元件的中心不同。

10.根据权利要求9所述的力检测装置，其特征在于，

通过所述固定部件施加于所述第一电荷输出元件的压力的方向与施加于所述第二电荷输出元件的压力的方向相同，

在所述第一基板被施加与通过所述固定部件施加于所述第一电荷输出元件的压力的方向相同的方向的外力时，所述第一电荷输出元件与所述第二电荷输出元件将所述外力作为相互相反方向的力而检测。