[发明专利]力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置

说明书

本发明涉及力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置。上述力检测装置具备：第一基板；第二基板；第一元件，其根据外力输出信号；固定部件，其对设置于第一基板与第二基板之间的第一元件进行夹持，并对第一元件施加压力；以及第二元件，其设置于第一基板与固定部件之间，并根据与通过固定部件施加于第一元件的压力的方向相同的方向的外力成分来输出信号，在从第一基板的厚度方向观察时，针对第一元件配置有至少一对固定部件。

技术领域

本发明涉及力检测装置、机器臂、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。

背景技术

近年来，以提高生产效率为目的，向工厂等的生产设施导入工业用机器臂的情况不断进展。这种工业机器臂具备：臂，其相对于一个轴方向或者多个轴方向能够驱动；末端执行器，其为安装于臂前端侧的机械手、部件检查用器具或者部件输送用器具等，并能够执行部件的组装作业、部件加工作业等部件制造作业、部件输送作业以及部件检查作业等。

在这种工业用机器臂中，例如，在臂与末端执行器之间设置有力检测装置。工业用机器臂所使用的力检测装置例如具备：一对基板、和设置于该对基板之间的力转换器。另外，对力转换器通过加压螺栓给于加压。若对上述基板施加外力，则一对基板相对位移，并通过力转换器对作用于一对基板间的力进行检测。此外，通过对力转换器给于加压，从而不仅在对力检测装置施加使一对基板相互接近的方向的外力的情况下，在施加使一对基板相互分离的方向的外力的情况下，也能够对该力进行检测。

然而，在现有的力检测装置中，例如，通过来自外部的电机等发热源的热，对一对基板、加压螺栓等进行加热，使之热膨胀，通过基板与加压螺栓的热膨胀差等，使由加压螺栓施加的加压变动，导致力转换器的输出变化。因此，无法准确地测定外力。

对于这样的技术问题，专利文献1所记载的力检测装置如其图5、图7所示，具有平台(安装板)、设置于该平台的两端的两个力测定单元、以及给于加压的预加载螺钉。而且，两个力测定单元的配置等的结构使由于因预加载螺钉等的热膨胀等产生的预压变化而产生的输出信号抵消。

专利文献1：日本特开平10－68665号公报

然而，在专利文献1记载的力检测装置中，由于从该受压面偏离的位置经由平台针对力测定单元的受压面传递外力，因此若平台的刚性不高，则因作用于力检测装置的外力，导致平台挠曲。另外，相反的，若为了提高平台的刚性，使平台的厚度变厚，则导致平台过厚，重量变重。另外，难以对力测定单元平衡性良好地给于加压。

发明内容

本发明的目的在于提供能够平衡性良好地对第一元件给于压力并能够抑制因热膨胀而产生的测定误差、或者实现装置的小型化并且能够抑制因热膨胀而产生的测定误差的力检测装置、机器臂、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例而实现。

(应用例1)

本发明的力检测装置的特征在于，具备：

第一基板；

第二基板；

第一元件，其根据外力输出信号；

固定部件，其对设置于上述第一基板与上述第二基板之间的上述第一元件进行夹持，并对上述第一元件施加压力；以及

第二元件，其设置于上述第一基板与上述固定部件之间，并根据与通过上述固定部件施加于上述第一元件的压力的方向相同的方向的外力成分来输出信号，

在从上述第一基板的厚度方向观察时，针对上述第一元件配置有至少一对上述固定部件。