[发明专利]X射线产生装置

权利要求书

1.一种X射线产生装置，用于支撑一体地形成靶的X射线照射窗而在靶的下侧伸出的内凸缘部被设置于真空容器内，所述内凸缘部成为支撑朝向真空容器内侧的所述靶的下表面的构造，设置电子源以及针对该电子源和真空容器分别赋予规定的电位差的电极组，通过在真空容器内形成的电场，对来自所述电子源的电子进行加速和集束，并照射在所述靶上，由此，产生X射线，并经由所述X射线照射窗放出到外部，

所述X射线产生装置的特征为，

将包括所述X射线照射窗在内的所述真空容器的一部分通过连结部件而与真空容器主体部以能够移动的方式连结，并且

在所述真空容器内，在所述电极组的最终级的电极与所述靶之间，以相对于真空容器主体部被固定的状态配置有阳极，该阳极与真空容器呈相同电位且形成有用于使电子透过的孔。

2.根据权利要求1所述的X射线产生装置，其特征为，

所述阳极设置在所述靶的最近处。

3.根据权利要求1所述的X射线产生装置，其特征为，

所述阳极至少在反射电子有可能撞击的范围内使用原子序数为13以下的轻元素部件。

4.根据权利要求2所述的X射线产生装置，其特征为，

所述阳极至少在反射电子有可能撞击的范围内使用原子序数为13以下的轻元素部件。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的X射线产生装置，其特征为，

所述连结部件是使包括所述X射线照射窗在内的真空容器的一部分与所述真空容器主体部以能够平行移动的方式进行连结的部件，

在所述真空容器的外部设置有限制部件，该限制部件与包括所述X射线照射窗在内的真空容器的一部分抵接，且将其姿态限制为相对于所述真空容器主体部呈平行移动状态。