[发明专利]X射线产生装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用在产业用X射线检查装置或医疗用X射线检查装置、或者利用X射线的衍射或折射的各种X射线分析装置或测定装置等中的X射线产生装置，更详细地讲，涉及一种将在真空容器内使电子撞击靶而产生的X射线以沿着电子前进方向的方向为中心放出到真空容器外的透过型X射线产生装置。

背景技术

在真空容器内通过使电子撞击靶来产生X射线的类型的X射线产生装置具有两种类型，一种使用将X射线向与电子的前进方向不同的方向放出的反射型靶；另一种使用将X射线向与电子的前进方向大致相同的方向放出的透过型靶。透过型靶通常是由薄膜形成的，因此，与能够使用块体材料的反射型靶相比，寿命短。为了延长该透过型靶的寿命，而进行了各种尝试，即：在靶面内设定多个X射线产生点，以使得能够改变靶上的电子束的照射位置。

即，在使用透过型靶的X射线产生装置之中的如图4所示的开放型的X射线产生装置中，构成为：在真空容器401内容纳有具有电子源以及电极组的所谓的电子枪402，并且能够通过真空泵403随时将真空容器401内抽真空。将一体地形成靶的X射线照射窗404设置成在与电子枪402的电子束B的轨道偏心的位置上使用O型环405而与真空容器保持气密性的结构，并且，通过旋转该X射线照射窗404，能够比较简单地在靶面内设置多个X射线产生点。

相比之下，在图5所示的密闭型的X射线产生装置中，一体地形成靶的X射线照射窗504是通过焊接或硬焊而与真空容器501气密性固定的，因此，不能如上所述进行旋转。另外，在该密闭型的结构中，不能够改变电子枪502的电子束B对靶的照射位置，因此，有人提出了以下所示的对策。

其中的一种技术为：以使能够沿着真空容器外侧的周围移动的方式设置永久磁铁，通过改变该永久磁铁的位置，使该永久磁铁在真空容器内形成的磁场变化，从而使电子束的轨道变化，这样就改变了对靶的照射位置(例如，参照专利文献1)。

另外的一种技术为：真空容器被设置成以下结构，即：用不同部件来形成用于固定电子枪的主体部和用于固定一体地形成靶的X射线照射窗的靶保持部，并且将它们通过连结体以能够相对变位的方式连结，通过使靶保持部相对于电子枪的电子束的轨道向任意的方向倾斜，从而使电子束对靶的照射位置改变(例如，参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2009-043741号公报

专利文献2：JP特开2011-113705号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

在用于在使用透过型靶的X射线产生装置中的靶面内设置多个X射线产生点的所述现有技术中，在改变真空容器内的电子束的轨道的专利文献1所记载的技术中，当每次变更X射线产生点时，相对于被固定的真空容器，X射线产生点的绝对位置会移动。即、X射线的焦点发生移动。

在此，在X射线检查装置中，如果焦点移动，则即使在同一位置放置样品，透视区域也会变化，而且，会需要进行装置系统的各种参数的重建或装置构成部件的位置调整等各种各样的再次调整，因此，不为优选。

因此，为了解决这种问题而将X射线的焦点位置保持为恒定，当每次在靶面上变更X射线的产生点时，需要对真空容器的位置、即整个X射线产生装置进行微小移动的调整。

另一方面，在专利文献2的技术中，将真空容器内的电子束轨道固定，相对于该电子束轨道，使包括一体地形成靶的X射线照射窗(以下，称为靶部件)的真空容器的一部分移动，虽然看上去不会产生所述焦点移动的问题，但如下所示，实际上会产生尽管是少许的焦点移动、但这种少许的焦点移动在微小焦点X射线产生装置中是不能够被忽视的。

即，在将微小焦点X射线产生装置小型化的情况下，很多时候会在密闭型的真空容器中使用通过多个电极产生的磁场来将电子静电地集束的电子集束系统，但在这种情况下，通常将用于加速电子的阳极也同时用作用于产生X射线的靶部件。即，将靶部件同时作为阳极来使用。

如专利文献2公开的技术那样，如果使包括靶部件在内的真空容器的一部分相对于容器主体部进行变位，则真空容器内的内表面的凹凸形状会发生变化，从而使真空容器内部的电场形状发生变化。随着该电场形状的变化，电子束的轨道变化，这就导致了X射线产生点的绝对位置的移动、即焦点移动。因此，即使利用专利文献2的技术，为了将X射线的焦点位置保持为恒定，每当在靶面上变更X射线产生点时，也需要对整个X射线产生装置进行微小移动的调整。