[发明专利]制造有机发光显示装置的方法

权利要求书

1.一种制造有机发光显示装置的方法，包括：

a)在基板上形成栅电极；

b)在包括所述栅电极的所述基板上形成栅绝缘层；

c)在所述栅绝缘层上形成有源层；

d)在所述有源层上形成绝缘层；

e)在所述绝缘层上形成源电极和漏电极，所述源电极和所述漏电极与所述有源层接触；

f)在所述绝缘层上形成钝化层，以覆盖所述源电极和所述漏电极；以及

g)形成有机发光元件，所述有机发光元件电气连接到所述源电极和所述漏电极中的一者，

其中，步骤a)包括形成铝金属层、钼金属层或银金属层、或它们的层压层，然后用蚀刻剂组合物蚀刻所形成的金属层以形成所述栅电极，所述蚀刻剂组合物包括50重量％至70重量％的磷酸、2重量％至15重量％的硝酸、5重量％至20重量％的乙酸、0.1重量％至5重量％的对甲苯磺酸、以及余量的水。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述铝金属层为铝层、或者为包括铝和至少一种选自La、Mg、Zn、In、Ca、Te、Sr、Cr、Co、Mo、Nb、Ta、W、Ni、Nd、Sn、Fe、Si、Ti、Pt和C中的金属的合金层。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述钼金属层为钼层、或者为包括钼和至少一种选自Ti、Ta、Cr、Ni、Nd、In和Al中的金属的合金层。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述银金属层为银层、或者为包括银和至少一种选自La、Mg、Zn、In、Ca、Te、Sr、Cr、Co、Mo、Nb、Ta、W、Ni、Nd、Sn、Fe、Si、Ti、Pt、Pd和Cu中的金属的合金层。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述形成所述有机发光元件的步骤包括：

形成第一电极，所述第一电极与所述源电极和所述漏电极中的一者电气连接；

在所述第一电极上形成有机层；以及

在所述有机层上形成第二电极。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一电极通过在所述钝化层上形成导电材料层然后用蚀刻剂组合物蚀刻所述导电材料层来形成，所述导电材料层为铝金属层、钼金属层或银金属层、金属氧化物层、或它们的层压层，所述蚀刻剂组合物包括50重量％至70重量％的磷酸、2重量％至15重量％的硝酸、5重量％至20重量％的乙酸、0.1重量％至5重量％的对甲苯磺酸、以及余量的水。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述金属氧化层为氧化铟锡(ITO)层、氧化铟锌(IZO)层、氧化锌(ZnO)层、氧化铟锌锡(IZTO)层、氧化镉锡(CTO)层、或氧化铟镓锌(IGZO)层。