[发明专利]用于制造微机械部件的方法和微机械部件

权利要求书

1.一种用于制造微机械部件的方法，其具有以下步骤：

提供(S01)具有第一外表面(10-f)和第二外表面(10-b)的衬底(10)，所述第二外表面背离所述第一外表面(10-f)；

构造(S02)穿过所述衬底(10)从所述衬底(10)的第一外表面(10-f)直到所述衬底(10)的第二外表面(10-b)的通孔(12-ij)；

在所述衬底(10)的第二外表面(10-b)上安装(S03)光学功能层(14)，其中，所述光学功能层(14)遮盖所述通孔(12-ij)；

在所述衬底(10)的第一外表面(10-f)处如此移除(S04)所述衬底(10)的第一区段(18-2)，使得形成相对于所述衬底(10)的第二外表面(10-b)倾斜的第三外表面(16-i)，所述第三外表面背离所述衬底(10)的第二外表面(10-b)，其中，所述倾斜的第三外表面(16-i)包围所述通孔(12-ij)；以及

通过将所述衬底(10)的具有所述通孔(12-ij)的第一部分(22-i)和所述光学功能层(14)的安装在所述第一部分(22-i)处的第二部分(24-i)与所述衬底(10)的剩余部和所述光学功能层(14)的剩余部分离来分离(S12)所述微机械部件。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述衬底(10)的倾斜的第三外表面(16-i)与所述衬底(10)的第二外表面(10-b)成一个角度(α-i)，所述角度位于5°和30°之间的范围内。

3.根据权利要求1所述的方法，其具有以下步骤：

在所述光学功能层(14)的外表面(14-b)上安装(S05)粘附薄膜(15)，其中，所述外表面(14-b)背离所述衬底(10)；

如此切割(S06)所述衬底(10)和所述光学功能层(14)，使得形成所述衬底(10)的第二区段(20-i)和安装在其处的光学功能层(14)；其中，所述第二区段(20-i)包括所述倾斜的第三外表面(16-i)和所述通孔(12-ij)，其中，所述第二区段(20-i)与所述衬底(10)的剩余部和所述光学功能层(14)的剩余部通过所述粘附薄膜(15)连接；

将经切割的衬底(10)和所述光学功能层(14)如此施加(S07)到成型垫(30)上，使得所述第二区段(20-i)置于所述成型垫(30)中的第一留空(32-i)上方；

如此使所述第二区段(20-i)从所述粘附薄膜(15)松脱(S08)，使得所述第二区段(20-i)分离并且以所述衬底(10)的倾斜的第三外表面(16-i)平放在所述成型垫(30)上的第一留空(32-i)中。

4.根据权利要求3所述的方法，其具有以下步骤：

如此施加(S09)具有第二留空(36-i)的键合工具(34)到所述成型垫(30)上，使得所述第二留空(36-i)贴靠具有位于其中的第二区段(20-i)的第一留空(32-i)；以及

将所述第二区段(20-i)转移(S10)到所述键合工具(34)的第二留空(36-i)中。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，如此构造所述键合工具(34)的第二留空(36-i)，使得所述第二区段(20-i)的倾斜的第三外表面(16-i)在所述第二区段(20-i)转移到所述键合工具(34)的第二留空(36-i)中之后与所述键合工具(34)的第四外表面(34-f)齐平地布置。

6.根据以上权利要求4或者5中任一项所述的方法，其中，所述转移(S10)通过相互贴靠的所述成型垫(30)和所述键合工具(34)的转动在利用重力的情况下来实现。

7.根据以上权利要求4或者5中任一项所述的方法，其中，所述转移(S10)通过抽吸所述第二区段(20-i)到所述成型垫(30)处和/或通过抽吸所述第二区段(20-i)到所述键合工具(34)处和/或借助于压缩空气挤压所述第二区段(20-i)到所述键合工具(34)处来实现。

8.根据以上权利要求4或者5中任一项所述的方法，所述方法具有以下步骤：借助于所述键合工具(34)将所述第二区段(20-i)键合(S11)到晶片的功能元件上，其中，在所述键合(S12)之后进行所述微机械部件与所述第二区段(20-i)的剩余部和所述晶片的剩余部的分离。