[发明专利]用于制造微机械部件的方法和微机械部件

说明书

本发明涉及一种用于制造微机械部件的方法以及一种微机械部件。方法包括以下步骤：提供具有第一外表面和第二外表面的衬底，第二外表面背离第一外表面；构造穿过衬底从衬底的第一外表面直到衬底的第二外表面的通孔；在衬底的第二外表面上安装光学功能层，其中，光学功能层遮盖通孔；在衬底的第一外表面处如此移除衬底的第一区段，使得形成相对于衬底的第二外表面倾斜的第三外表面，第三外表面背离衬底的第二外表面，其中，倾斜的第三外表面包围通孔；通过分离衬底的具有通孔的第一部分和光学功能层的安装在第一部分处的第二部分与衬底的剩余部和光学功能层的剩余部来分离微机械部件。

技术领域

本发明涉及一种用于制造微机械部件的方法和一种微机械部件、尤其一种用于制造倾斜的和严密密封的窗的方法以及一种倾斜的和严密密封的窗。

背景技术

微机械部件通常满足光学功能、例如作为微镜、光发射装置或者光传感器。相应的光学功能元件、例如微镜可以或者未封闭地制造或者严密密封地封装，这能够改善微镜的寿命和功能性。

在DE 10 2011 119 610 A1中描述了一种用于制造结构化的光学组件、尤其用于包封微系统的盖的方法。在第一衬底上施加在连接之前制造的加强元件，由此产生堆叠。所述堆叠在与第二衬底连接之后被加热，由此使第一衬底如此变形，使得第一衬底的至少一个由加强元件遮盖的区域移动和/或倾斜。

发明内容

本发明公开了一种具有下述技术方案特征的方法和一种根据所述方法制造的微机械部件。

据此，设置一种用于制造微机械部件的方法，其具有以下步骤：

提供具有第一外表面和第二外表面的衬底，所述第二外表面背离所述第一外表面；构造穿过所述衬底从所述衬底的第一外表面直到所述衬底的第二外表面的通孔；在所述衬底的第二外表面上安装光学功能层，其中，所述光学功能层遮盖所述通孔；在所述衬底的第一外表面处如此移除所述衬底的第一区段，使得形成相对于所述衬底的第二外表面倾斜的第三外表面，所述第三外表面背离所述衬底的第二外表面，其中，所述倾斜的第三外表面包围所述通孔；以及通过分离所述衬底的具有所述通孔的第一部分和所述光学功能层的安装在所述第一部分处的第二部分与所述衬底的剩余部和所述光学功能层的剩余部来分离所述微机械部件。

此外，设置微机械部件，其具有：具有第一外表面和第二外表面的衬底，所述第二外表面背离所述第一外表面；穿过所述衬底从所述衬底的第一外表面直到所述衬底的第二外表面的通孔；安装在所述衬底的第二外表面上的光学功能层，其中，所述光学功能层遮盖所述通孔；其中，所述衬底具有所述通孔和相对于所述衬底的第二外表面倾斜的第三外表面，所述第三外表面背离所述衬底的第二外表面，其中，所述倾斜的第三外表面包围所述通孔。

本发明所基于的认识在于，能够通过在晶片级上的处理显著降低用于制造具有倾斜的和严密密封的窗的微机械部件的技术耗费。与此相应地，本发明描述一种这样的制造方法以及一种这样的微机械部件。这样的倾斜的和严密密封的窗能够有利地用于密封封装具有光学功能的微机械部件。

光学功能层可以至少在部分区域中包含玻璃、优选硅酸盐玻璃、特别优选硼硅酸盐玻璃和/或类玻璃的材料或者由它们组成。这样的材料为多种应用提供特别有利的光学特性。

有利地，微机械部件不是基于单个裸片(Einzel-Die-Basis)制造，而是在晶片级上处理。因此，可以在少的处理步骤中制造完整的晶片，其例如具有大约千个倾斜的和严密密封的窗、即具有倾斜的光学入口。由此能够简单地以标准键合过程来进一步处理。完整的晶片例如可以借助技术简单的手段与另外的晶片连接，所述另外的晶片具有多个光学功能元件。所述光学功能元件可以是例如微镜、光发射装置或者光传感器。能够在光学功能元件通过部件严密封装之前或之后分离所述微机械部件。