[发明专利]负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法

权利要求书

1.一种负型感光性树脂组合物，其含有：

包含下述通式(1)所表示的重复单元的(A)环状烯烃树脂、

(B)多官能性丙烯酸单体、和

(C)光聚合引发剂，

式中，R¹、R²、R³和R⁴各自独立地表示选自氢原子、碳原子数为1～15的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为5～15的环烷基、碳原子数为6～20的芳基或碳原子数为1～20的烷氧基、或者水解性甲硅烷基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为4～20的三烷基甲硅烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷基羰氧基、碳原子数为3～20的烯基羰氧基和氧杂环丁基的取代基，并且也可以直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼此连接。

2.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中(A)环状烯烃树脂包含所述通式(1)所表示的R¹、R²、R³和R⁴为氢原子的结构单元。

3.如权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其中(A)环状烯烃树脂包含所述通式(1)所表示的R¹、R²、R³和R⁴的任一者为碳原子数为2～20的烷氧基羰基或碳原子数为2～20的烷基羰氧基的结构单元。

4.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中R¹、R²、R³和R⁴各自独立地为选自由氢原子、碳原子数为1～15的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为6～15的芳基、碳原子数为6～20的烷氧基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基以及碳原子数为2～20的烷基羰氧基组成的组中的取代基。

5.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中所述水解性甲硅烷基为选自由三甲氧基甲硅烷基和甲基二甲氧基甲硅烷基组成的组中的至少一种。

6.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中所述碳原子数为2～20的烷氧基羰基为选自由甲基酯基、叔丁基酯基、2－乙基己基酯基、苄基酯基、环戊基酯基、环己基酯基和烯丙基酯基组成的组中的至少一种。

7.如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中所述碳原子数为2～20的烷氧基羰基为选自由甲基酯基、2－乙基己基酯基、苄基酯基、环戊基酯基、环己基酯基和烯丙基酯基组成的组中的至少一种。

8.如权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中(A)环状烯烃树脂以环状烯烃中的式(1)结构单元的总量为基准，含有1摩尔％以上所述通式(1)所表示的R¹、R²、R³和R⁴为氢原子的结构单元。

9.如权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中(A)环状烯烃树脂以环状烯烃中的式(1)结构单元的总量为基准，含有10摩尔％以上所述通式(1)所表示的R¹、R²、R³和R⁴为氢原子的结构单元。

10.如权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中(A)环状烯烃树脂以环状烯烃中的式(1)结构单元的总量为基准，以60摩尔％以下的比例含有所述通式(1)所表示的R¹、R²、R³和R⁴为氢原子的结构单元。

11.如权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中(A)环状烯烃树脂以环状烯烃中的式(1)结构单元的总量为基准，以50摩尔％以下的比例含有所述通式(1)所表示的R¹、R²、R³和R⁴为氢原子的结构单元。