[发明专利]负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法

说明书

本申请是申请日为2011年2月23日，申请号为201180010940.3，发明名称为《负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法》的中国专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。

背景技术

在薄膜晶体管(以下，记作“TFT”)型液晶显示元件、磁头元件、集成电路元件和固体摄像管元件等电子部件中，为了使层状配置的配线间绝缘，通常设置层间绝缘膜(参见专利文献1)。作为其材料，由于优选用于得到所需图案形状的工序数少并且具有充分平坦性的材料，因此广泛使用负型感光性树脂组合物(参见专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000－10089号公报

专利文献2：日本专利第3650985号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述电子部件中，TFT型液晶显示元件是经过在层间绝缘膜上形成透明电极膜，再在其上形成液晶取向膜的工序而制造的。这时，由于该层间绝缘膜在透明电极膜的形成工序中被暴露在高温条件下，因此需要对其具有充分的耐性。

此外，近年来，对于TFT型液晶显示元件，有着大画面化、高辉度化、高精细化以及高速响应化等多种技术动向，液晶显示元件的结构也随之变得复杂化。因此，对于所用的层间绝缘膜，在低介电常数、高透光率(>80％，λ＝400nm)等方面也要求比以往提高的高性能，同时，在液晶显示元件的结构上，也开始要求能够实现至50μm左右的厚膜化等特殊要求。

然而，通常用于现有层间绝缘膜的形成的负型感光性树脂组合物，在同时实现厚膜化、和高透过率及高分辨率方面极其困难，强烈要求开发一种可以形成兼具有这样的特性的层间绝缘膜的负型感光性树脂组合物。

本发明鉴于上述情况而进行，其目的在于提供一种即使厚膜化，也可以形成分辨率、透明性、耐热性、耐热变色性和耐溶剂性等各种特性都十分优异的层间绝缘膜的负型感光性树脂组合物。此外，本发明目的还在于提供一种由该负型感光性树脂组合物所形成的层间绝缘膜及其形成方法。

解决问题的方法

本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其含有：包含下述通式(1)所表示的重复单元的(A)环状烯烃树脂、(B)多官能性丙烯酸单体、和(C)光聚合引发剂。式(1)中，R¹、R²、R³和R⁴各自独立地表示选自氢原子、碳原子数为1～15的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为5～15的环烷基、碳原子数为6～20的芳基或碳原子数为1～20的烷氧基、或者水解性甲硅烷基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为4～20的三烷基甲硅烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷基羰氧基、碳原子数为3～20的烯基羰氧基和氧杂环丁基的取代基，并且也可以直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼此连接。

[化1]

具有上述构成的负型感光性树脂组合物即使厚膜化，也可以形成分辨率、透明性、耐热性、耐热变色性和耐溶剂性等各种特性都十分优异的层间绝缘膜。

(A)环状烯烃树脂优选包含上述通式(1)所表示的、R¹、R²、R³和R⁴为氢原子的结构单元。

此外，(A)环状烯烃树脂优选包含上述通式(1)所表示的、R¹、R²、R³和R⁴的任一者为碳原子数为2～20的烷基羰氧基的结构单元。

本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其可以用于层间绝缘膜的形成方法，所述方法具有对由该负型感光性树脂组合物所形成的膜的至少一部分照射波长为400nm以下的紫外线的工序。

本发明的负型感光性树脂组合物还优选进一步含有(D)碱可溶性树脂。

本发明提供一种由上述负型感光性树脂组合物所形成的层间绝缘膜。

本发明提供一种层间绝缘膜的形成方法，其具有对由上述负型感光性树脂组合物所形成的膜的至少一部分照射光的工序、将光照射后的前述膜进行显影的工序、和烧成显影后的上述膜，形成层间绝缘膜的工序。

发明效果

根据本发明，能够提供一种即使厚膜化，也可以形成分辨率、透明性、耐热性、耐热变色性和耐溶剂性等各种特性都十分优异的层间绝缘膜的负型感光性树脂组合物。

具体实施方式