[发明专利]缺陷检查设备和方法

权利要求书

1.一种缺陷检查设备，包括：

载物台，支撑物体；

第一发光单元，发射将要入射在物体上的光；

反射器，将由第一发光单元发射并被物体反射的光再次反射到物体上；

第二发光单元，设置在关于载物台与第一发光单元相对的方向上，并发射将要入射在物体上的光；

相机，包括接收被反射器反射、入射在物体上、且随后被物体反射的光以及从第二发光单元入射在物体上并穿过物体的光的成像器件；

第三发光单元，被设置为靠近反射器，并发射将要入射在物体上的光，

其中，第三发光单元发射的光以与反射器反射的光的角度不同的角度入射在物体上，成像器件接收从第三发光单元发射并入射在物体上的光中的被物体散射的一部分光。

2.如权利要求1所述的设备，其中，由相机的光轴和垂直于物体的线形成的角度与将反射器连接到物体的线和垂直于物体的线形成的角度基本相同。

3.如权利要求1所述的设备，其中，反射器是后向反射器。

4.如权利要求1所述的设备，其中，由相机的光轴和垂直于物体的线形成的角度与将第二发光单元连接到物体的线和垂直于物体的线形成的角度基本相同。

5.如权利要求1所述的设备，所述设备还包括：

第四发光单元，被设置为靠近第二发光单元并以与第二发光单元发射的光的角度不同的角度将光发射在物体上。

6.如权利要求5所述的设备，其中，第三发光单元包括设置在基于反射器的两个方向上并以不同的角度将光发射在物体上的多个照明源，第四发光单元包括设置在基于第二发光单元的两个方向上并以不同的角度将光发射在物体上的多个照明源。

7.如权利要求1至权利要求6中的任意一项权利要求所述的设备，所述设备还包括：

阻挡单元，设置在成像器件的前方，并根据被反射器反射、入射在物体上且随后被物体反射的光的角度来阻挡入射在成像器件上的一部分或所有的光。

8.如权利要求1至权利要求6中的任意一项权利要求所述的设备，所述设备还包括：

第五发光单元，设置在关于载物台与第二发光单元相同的方向上，并沿与物体垂直的方向发射光；

垂直相机，接收由第五发光单元发射并被物体反射的光。

9.如权利要求1至权利要求6中的任意一项权利要求所述的设备，其中，反射器和第三发光单元被设置为使得连接反射器和物体的线与连接第三发光单元和物体的线之间形成10°至40°的角度，所述角度基于光入射在物体上的区域变化。

10.如权利要求1至权利要求6中的任意一项权利要求所述的设备，所述设备还包括：

第六发光单元，被载物台支撑，并朝向物体的侧表面发射光。

11.一种缺陷检查方法，包括：

将物体设置在载物台上；

通过使用第一发光单元发射将入射在物体上的光；

通过使用反射器将由第一发光单元发射且随后被物体反射的光再次反射到物体上、以及使用成像器件接收通过反射器再次入射在物体上且随后从物体反射的光，来获得第一图像；

通过使用设置在关于载物台与第一发光单元相对的方向上的第二发光单元发射将要入射在物体上的光；

通过使用成像器件接收由第二发光单元发射并穿过物体的光来获得第二图像；

通过使用被设置为靠近反射器的第三发光单元以与由反射器反射的光的角度不同的角度发射将要入射在物体上的光；

通过使用成像器件接收由第三发光单元入射在物体上并被物体散射的光来获得第三图像；

匹配从第一图像至第三图像中选择的至少两个图像的坐标；

从具有匹配的坐标的所述至少两个图像检测缺陷并区分缺陷的类型。

12.如权利要求11所述的方法，所述方法还包括：

通过使用由载物台支撑的第六发光单元朝向物体的侧表面发射光；

通过使用成像器件接收由第六发光单元发射并被物体散射的光来获得第五图像；

匹配所述至少两个图像的坐标和第五图像的坐标；

从具有匹配的坐标的至少三个图像检测缺陷并区分缺陷的类型。