[发明专利]缺陷检查设备和方法

说明书

本申请要求于2014年7月2日提交至韩国知识产权局的第10-2014-0082532号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的全部公开通过引用包含于此。

技术领域

一个或更多个示例性实施例涉及缺陷检查设备和方法，更具体地讲，涉及利用单个装置来测量多种类型的缺陷并区分多种类型的缺陷的缺陷检查设备和方法。

背景技术

当检查透明或者不透明的物体是否存在缺陷时，通常来说，装置通过发射将要入射在物体上的光然后测量并分析透射光或反射光来检查物体是否存在缺陷。

然而，为了检测缺陷，沿一个方向发射将要入射在物体上的光的各个发光装置都需要载物台和相机，这导致了用于检查多种类型的缺陷的检查装置的尺寸过度地增大。

此外，由于从每个载物台独立地获取图像，所以可能难以区分缺陷。

发明内容

一个或多个示例性实施例包括一种具有很小的尺寸并可以测量并在多种类型的缺陷之间进行区分的缺陷检查设备。

另外的方面将在随后的描述中部分地阐述，且部分地将通过描述而变得显而易见，或者可以通过实施提供的示例性实施例而了解。

根据一个或多个示例性实施例，一种缺陷检查设备包括：载物台，支撑物体；第一发光单元，发射将入射在物体上的光；反射器，将由第一发光单元发射并被物体反射的光再次反射到物体上；第二发光单元，设置在关于载物台与第一发光单元相反的方向上，并发射将入射在物体上的光；相机，包括接收被反射器反射、入射在物体上、且随后被物体反射的光以及从第二发光单元入射在物体上并穿过物体的光的成像器件；第三发光单元，被设置为靠近反射器，并发射将入射在物体上的光。第三发光单元发射的光以与反射器反射的光的角度不同的角度入射在物体上，成像器件接收从第三发光单元发射并入射在物体上的光中的被物体散射的光的一部分。

由相机的光轴和垂直于物体的线形成的角度与将反射器连接到物体的线和垂直于物体的线形成的角度可以基本相同。

反射器可以是后向反射器。

由相机的光轴和垂直于物体的线形成的角度与将第二发光单元连接到物体的线和垂直于物体的线形成的角度可以基本相同。

所述设备还可以包括：第四发光单元，被设置为靠近第二发光单元并以与第二发光单元发射的光的角度不同的角度将光发射在物体上。

第三发光单元可以包括设置在基于反射器的两个方向上并以不同的角度将光发射在物体上的多个照明源，第四发光单元可以包括设置在基于第二发光单元的两个方向上并以不同的角度将光发射在物体上的多个照明源。

所述设备还可以包括：阻挡单元，设置在成像器件的前方，并根据被反射器反射、入射在物体上且随后被物体反射的光的角度来阻挡入射在成像器件上的光的一部分或全部。

所述设备还可以包括：第五发光单元，设置在关于载物台与第二发光单元的方向相同的方向上，并沿与物体垂直的方向发射光；垂直相机，接收由第五发光单元发射并被物体反射的光。

反射器和第三发光单元可以被设置为使得基于被物体反射的光入射所处的区域形成10°至40°的角度。

所述设备还可以包括：第六发光单元，被载物台支撑，并朝向物体的侧表面发射光。

根据一个或多个示例性实施例，一种缺陷检查方法包括：在载物台上设置物体；通过使用第一发光单元发射将入射在物体上的光；通过使用反射器将由第一发光单元发射且随后被物体反射的光反射到物体上、以及使用成像器件接收通过反射器再次入射在物体上且随后从物体反射的光，来获得第一图像；通过使用设置在关于载物台与第一发光单元相对的方向上的第二发光单元发射将入射在物体上的光；通过使用成像器件接收由第二发光单元发射并穿过物体的光来获得第二图像；通过使用被设置为靠近反射器的第三发光单元以与由反射器反射的光的角度不同的角度发射将入射在物体上的光；通过使用成像器件接收由第三发光单元入射在物体上并被物体散射的光来获得第三图像；匹配从第一图像至第三图像中选择的至少两种图像的坐标；从具有匹配的坐标的所述至少两种图像检测缺陷并区分缺陷的类型。

所述方法还可以包括：通过使用由载物台支撑的第六发光单元朝向物体的侧表面发射光；通过使用成像器件接收由第六发光单元发射并被物体散射的光来获得第五图像；匹配所述至少两种图像的坐标和第五图像的坐标；从具有匹配的坐标的至少三种图像检测缺陷并区分缺陷的类型。

所述方法还可以包括：通过使用被设置在关于载物台与第二发光单元的方向相同的方向上的第五发光单元沿与物体垂直的方向发射光；通过使用垂直相机接收由第五发光单元发射并被物体反射的光来获得第四图像。