[发明专利]一种快速检测黑心片的方法

权利要求书

1.一种快速检测黑心片的方法，其特征在于按照如下步骤进行：

步骤一、将待测硅棒进行切片；

步骤二、将硅棒切片一面紧贴金属板，硅棒切片、金属板、电源、电流表、金属探针形成一个串联回路，探针放置于硅棒切片另一面上，通过探针测量硅棒切片多个位置硅棒切片电阻率，计算硅棒切片多个位置的电阻率高于临界值的比率，如果比率小于等于10%，该硅棒切片为良好切片，如果比率大于10%，小于等于40%，该硅棒切片为轻微黑心片，如果比率大于40%，该硅棒切片为严重黑心片，金属探针有多根，金属探针在5mm的半径圆上，组成三个探针同心圆，金属探针通过探针固定装置固定，每个探针都串联一个电流表，然后和硅棒切片、金属板、电源构成一个闭合回路，电流表都信号连接处理装置，处理装置连接显示屏。

2.根据权利要求1所述的一种快速检测黑心片的方法，其特征在于：硅棒切片的电阻率测量过程通过一种快速检测黑心片装置完成：包括机架、安装在机架上的夹紧装置，夹紧装置上一端安装一块金属板，另一端安装一个探针固定装置，探针固定装置上安装有多根金属探针，金属探针集中在5mm的半径圆上，每个探针都串联一个电流表，然后和硅棒切片、金属板、电源构成一个闭合回路，电流表都信号连接处理装置，处理装置连接显示屏；使用过程中把夹紧装置打开，放入硅棒切片合上夹紧装置，然后通过显示屏观察，硅棒切片按照良好切片、轻微黑心片、严重黑心片进行分类。