[发明专利]偏振光照射装置

权利要求书

1.一种偏振光照射装置，其特征在于，具备：

光照射器，经由偏振元件对所设定的照射面进行光照射；以及

输送系统，使载置有基板的工作台移动，将基板输送到照射面的位置，

所述输送系统包括：第一直线移动机构，使工作台在从脱离照射面的位置朝向照射面的位置的第一方向上直线移动；以及θ方向移动机构，通过使所述工作台围绕与所述工作台的载置面垂直的轴旋转，将所述工作台设为相对于所述偏振元件为规定的姿态，

所述偏振光照射装置中设置有用于检测所述工作台的偏摇的偏摇检测构件，

所述偏摇检测构件具备反射镜及对所述反射镜照射激光的激光干涉计，根据基于在所述反射镜反射后返回来的激光的干涉光，检测所述工作台的偏摇，

所述偏振光照射装置中设置有第一定板，

在所述第一定板上搭载有第二直线移动机构、所述θ方向移动机构及所述工作台，

所述第一直线移动机构，是使所述第一定板在所述第一方向上移动，从而使所述第二直线移动机构、所述θ方向移动机构及所述工作台与所述第一定板一体地在所述第一方向上移动的机构，

所述第二直线移动机构，是使所述工作台在与所述第一方向正交的第二方向上直线移动的机构，所述第二直线移动机构是不使所述第一定板移动的机构，

所述θ方向移动机构，是使所述工作台围绕与所述工作台的基板载置面垂直的轴旋转的机构，所述θ方向移动机构是不使所述第一定板旋转的机构，

所述反射镜设置于所述第一定板。

2.如权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述偏摇检测构件将激光分割，以向所述反射镜上的不同的部位照射来自所述激光干涉计的激光，

根据基于各个照射的激光的反射光的干涉光，检测所述工作台的偏摇。

3.如权利要求1或2所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述输送系统输送基板，以使载置于所述工作台的基板通过照射面，

所述偏摇检测构件包括存储部，该存储部存储基板通过照射面时的偏摇的产生量。

4.如权利要求1或2所述的偏振光照射装置，其特征在于，

所述偏振光照射装置具备与所述偏摇检测构件连接的顺序控制部，

在通过所述第一直线移动机构而从脱离所述照射面的位置向所述照射面的位置移动时所述偏摇检测构件检测到限度以上的偏摇的情况下，所述顺序控制部基于来自所述偏摇检测构件的指令进行输出警报或者使所述输送系统停止的控制。

5.如权利要求4所述的偏振光照射装置，其特征在于，

脱离所述照射面的位置是向所述工作台搭载基板的载入位置，

所述偏摇检测构件是在从载入位置一直直线移动到所述照射面的位置时检测所述工作台的偏摇的构件。

6.如权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，

在所述第一定板上搭载有第二定板，

所述第二直线移动机构，是使所述第二定板在所述第二方向上直线移动的机构，

所述θ方向移动机构搭载于所述第二定板上。