[发明专利]偏振光照射装置

说明书

在将载置于工作台的基板输送到偏振光的照射面并对基板照射偏振光的偏振光照射装置中，能够检测偏摇的产生，能够有助于成品率的改善。光照射器(1)经由偏振元件(12)对照射面(I)照射偏振光，通过由第一移动机构(22)使工作台(21)移动来使载置于工作台(21)的基板(S)通过照射面(I)并进行输送。由激光干涉计(4)构成的偏摇检测构件在一直直线移动到照射面(I)的位置时检测工作台(21)的偏摇。偏摇是围绕与照射面(I)垂直的轴的旋转。

技术领域

本申请的发明涉及在光定向等中使用的偏振光的照射技术。

背景技术

在要获得液晶显示元件用的定向膜、视场角补偿滤光器用的定向层的情况下，以前采用使滚子擦蹭定向膜用的膜(以下，称为膜材)而进行的摩擦处理。然而，在更高性能的器件的制造中，考虑到摩擦时的分裂(parting)产生这一问题，多采用没有分裂产生的光定向的技术。光定向是通过对膜材进行光照射而使之定向的技术。以下，将通过光照射而产生了定向的膜及层统称为光定向膜。另外，“定向”或“定向处理”是对于对象物的某个性质赋予方向性。

光定向通过对膜材照射偏振光而进行。膜材是例如聚酰亚胺(polyimide)那样的树脂制，向期望的方向偏振的偏振光被照射至膜材。通过规定的波长的偏振光的照射，成为膜材的分子构造(例如侧链)与偏振光的偏振轴的方向对齐的状态，获得光定向膜。

作为这样的照射光定向用的偏振光的偏振光照射装置，例如有专利文献1公开的装置。这种装置具备与照射面的宽度或者这以上的宽度相当的长度的棒状的光源、及使来自该光源的光偏振的格栅偏振元件，对于在相对于光源的长度方向正交的方向上输送的膜材照射偏振光。光定向大多需要照射从可见区到紫外区的波长的偏振光，作为棒状的光源，多使用水银灯那样的紫外线光源。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5200271号公报

发明内容

不言而喻，定向处理的品质的重要的指标是定向的方向精度。定向的方向精度差时，膜材的特定的性质不朝向期望的朝向，无法获得预定的定向处理的效果。所谓定向的方向精度的恶化，有在某个面内整体上定向被设为与期望的方向不同的方向的情况、和在某个面内定向的方向散乱的情况。

在获得例如液晶显示元件用的定向膜时的光定向处理中，液晶的各分子沿定向的方向被排列，因此在定向的方向精度的恶化作为整体而发生时，画面整体的视觉辨认性恶化。另外，在精度恶化作为定向的散乱而产生时，会产生画面的局部的闪烁或显示不均。

以产品的高性能化、高功能化为背景，这样的定向的方向精度受到非常严格的要求。例如，在智能手机等移动设备多用的触摸面板(触摸面板幕显示器)中，少许的定向的方向精度的恶化就导致画面的视觉辨认性低下及显示不均，因此要求使光定向的方向精度更高。

光定向的方向精度由对膜材照射的偏振光的偏振轴的方向精度来决定。为了满足所要求的方向精度，必须将照射的偏振光的偏振轴相对于期望的方向的偏移抑制在非常小的规定的范围内。因此，光定向用的偏振光照射装置需要以上述那样的轴偏移被抑制得较小的状态将偏振光照射至膜材。

另一方面，通过偏振光照射而被进行光定向的膜材以往通过卷对卷(roll toroll)来输送，并在该输送的过程中照射偏振光，光定向处理后的膜材被切断为规定的大小并粘附在显示器基板上。然而，在更高性能的显示器的制造中，采用将膜材预先设置于基板、并对附有膜材的基板照射偏振光的构成。在该情况下，采用通过将基板载置于工作台并使工作台移动，从而将基板输送到偏振光的照射位置的构成。

根据发明人的研究判明：在采用了这样的工作台输送的构成的偏振光照射装置中，在获得更高品质的光定向膜的观点，尤其应当注意。以下，使用图4及图5对该点进行说明。图4及图5是对采用了工作台输送的构成的偏振光照射装置中的课题进行表示的图，图4是立体概略图，图5是俯视概略图。