[发明专利]指纹锁识别模组封装结构有效

专利信息
申请号: 201510091440.7 申请日: 2015-02-28
公开(公告)号: CN104681523B 公开(公告)日: 2018-07-13
发明(设计)人: 黄双武;赖芳奇;王邦旭;吕军;刘辰 申请(专利权)人: 苏州科阳光电科技有限公司
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488;H01L23/48;G06K9/00
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 马明渡;王健
地址: 215143 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 锥形盲孔 指纹识别芯片 盲孔 模组封装结构 数据处理芯片 金钯合金层 镍金属层 增厚部 指纹锁 焊盘 晶圆级芯片封装 产品可靠性 技术整合 陶瓷盖板 由外向内 工艺流程 电连接 硅通孔 铝焊垫 铝焊盘 上表面 下表面 凸起 相背 延伸 覆盖
【权利要求书】:

1.一种指纹锁识别模组封装结构,其特征在于:包括指纹识别芯片(1)、陶瓷盖板(15)、PCB板(16)和数据处理芯片(17),所述指纹识别芯片(1)的感应区与陶瓷盖板(15 )之间设置有高介电常数层(18),所述PCB板(16)和数据处理芯片(17)均电连接指纹识别芯片(1);

所述指纹识别芯片(1)上表面分布有若干个盲孔(2),所述指纹识别芯片(1)的盲孔(2)内具有铝焊盘(3),此铝焊盘(3)从盲孔(2)底部延伸至盲孔(2)中部,盲孔(2)内铝焊盘(3)表面依次覆盖有镍金属层(4)、金钯合金层(19 ),此镍金属层(4)从盲孔(2)中部延伸至指纹识别芯片(1)上表面并形成凸起,形成焊盘增厚部(5),所述金钯合金层(19 )位于焊盘增厚部(5)的表面;

所述指纹识别芯片(1)下表面并与盲孔(2)相背区域由外向内依次具有第一锥形盲孔(6)、第二锥形盲孔(7),第二锥形盲孔(7)位于第一锥形盲孔(6)的底部,所述第一锥形盲孔(6)、第二锥形盲孔(7)的截面为锥形,第二锥形盲孔(7)的开口小于第一锥形盲孔(6)的开口,此第二锥形盲孔(7)底部为指纹识别芯片(1)的铝焊盘(3);

所述指纹识别芯片(1)下表面、第一锥形盲孔(6)、第二锥形盲孔(7)表面具有绝缘层(8),所述第二锥形盲孔(7)底部开设有若干个第三锥形盲孔(9),位于指纹识别芯片(1)、第一锥形盲孔(6)、第二锥形盲孔(7)和第三锥形盲孔(9)上方依次具有钛金属导电图形层(10)、铜金属导电图形层(11),此钛金属导电图形层(10)、铜金属导电图形层(11)位于绝缘层(8)与指纹识别芯片(1)相背的表面,一防焊层(12)位于铜金属导电图形层(11)与钛金属导电图形层(10)相背的表面,此防焊层(12)上开有若干个通孔(13),一焊球(14)通过所述通孔(13)与铜金属导电图形层(11)电连接,所述PCB板(16)和数据处理芯片(17)均电连接指纹识别芯片(1)的焊球(14);

所述第三锥形盲孔(9)贯穿所述铝焊盘(3)并延伸至镍金属层(4)的中部,所述金钯合金层(19)由78~85%钯、15~22%金组成。

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