[发明专利]检查装置以及异常检测方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，具备：

振动测定器，具有：振动检测台，设置被检查物；夹持部，夹持上述被检查物而载放于上述振动检测台；振动检测部，由于上述被检查物的载放时的冲击而振动，且由于在夹持部之间夹持了上述被检查物时的冲击而振动，输出与这些振动相对应的信号；以及传递部，传递上述振动检测部的输出信号；以及

判断部，被输入从上述传递部传递的上述输出信号，基于上述振动检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，并且对上述被检查物的载放时以及夹持上述被检查物时的至少一方的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成同时表示上述振动测定器的构成要素各自的固有振动频率的振动功率的振动信息，

上述判断部为，在上述被检查物的载放时或者在上述夹持部之间夹持了上述被检查物时，基于上述振动信息来判断上述振动检测台、上述夹持部、上述振动检测部、以及上述传递部有无异常。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述判断部为，对上述振动信息的上述振动功率与预先设定的阈值进行比较，当上述振动信息的上述振动功率为上述阈值以上时，判断为上述振动检测部以及上述传递部无异常，当上述振动信息的上述振动功率小于上述阈值时，判断为上述振动检测部或者上述传递部存在异常。

3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述判断部为，在上述振动测定器的上述构成要素中，基于上述振动信息所表示的固有振动频率相对于上述构成要素各自的基准正常状态下的固有振动频率的偏移，来判断上述构成要素各自有无异常。

4.如权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

上述判断部为，在上述振动测定器的上述构成要素中，如果上述振动信息所表示的固有振动频率相对于上述构成要素各自的基准正常状态下的固有振动频率的偏移，处于针对上述构成要素各自预先设定的允许范围内，则判断为正常，如果处于上述允许范围外，则判断为存在异常。

5.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述判断部为，在上述振动测定器的上述构成要素中，基于上述振动信息所表示的固有振动频率相对于上述构成要素各自的基准正常状态下的固有振动频率的偏移量，来判断异常的种类。

6.一种异常检测方法，其特征在于，

对检查装置的异常进行检测，该检查装置具备振动测定器以及判断部，该振动测定器具有：振动检测台，设置被检查物；夹持部，夹持上述被检查物而载放于上述振动检测台；振动检测部，由于上述被检查物的载放时的冲击而振动，且由于在夹持部之间夹持了上述被检查物时的冲击而振动，输出与这些振动相对应的信号；以及传递部，传递上述振动检测部的输出信号，上述判断部为，被输入从上述传递部传递的上述输出信号，基于上述振动检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，

上述异常检测方法具备：

对上述被检查物的载放时以及夹持了上述被检查物时的至少一方的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成同时表示上述振动测定器的构成要素各自的固有振动频率的振动功率的振动信息的步骤；以及

在上述被检查物的载放时或者在上述夹持部之间夹持了上述被检查物时，基于上述振动信息来判断上述振动检测台、上述夹持部、上述振动检测部、以及上述传递部有无异常的步骤。

7.如权利要求6所述的异常检测方法，其特征在于，具备：

对上述振动信息的上述振动功率与预先设定的阈值进行比较的步骤；以及

当上述振动信息的上述振动功率为上述阈值以上时，判断为上述振动检测部以及上述传递部无异常，当上述振动信息的上述振动功率小于上述阈值时，判断为上述振动检测部或者上述传递部存在异常的步骤。

8.如权利要求6所述的异常检测方法，其特征在于，

具备如下步骤：在上述振动测定器的上述构成要素中，基于上述振动信息所表示的固有振动频率相对于上述构成要素各自的基准正常状态下的固有振动频率的偏移，来判断上述构成要素各自有无异常。