[发明专利]检查装置以及异常检测方法

说明书

本发明提供检查装置以及异常检测方法。根据一个实施方式，检查装置具备：设置部，用于设置被检查物；振动检测部，输出与上述被检查物的振动相对应的信号；判断部，基于上述检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，并且对上述被检查物相对于上述设置部设置时的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成对上述设置部的构成要素各自的固有振动频率的振动功率进行表示的振动信息，基于上述振动信息来判断上述检查装置有无异常；以及传递部，将上述检测部的输出信号朝上述判断部传递。

关联申请的引用：本申请以2014年3月19日提交的在先日本专利申请2014-056319号的优先权为基础，且要求其优先权利益，其全部内容通过引用而包含于本申请。

技术领域

此处说明的实施方式涉及检查被检查物的检查装置、以及对检查被检查物的检查装置的异常进行检测的异常检测方法。

背景技术

例如，在制造工序内的检查工序等中，使用各种传感器进行品质检查。作为一例，在检测振动的装置中，使用加速度传感器等，基于所检测到的振动实施品质的检查。

这种检查装置具有：对产品产生的振动进行检测的例如加速度传感器等的振动检测部；基于振动检测部的检测结果来判断有无异常的判断部；以及将振动检测部的检测结果朝判断部传递的传递布线。

在产品存在异常的情况下，例如具有进行旋转的部件的产品为，当存在异常时，在动作时会产生异常的振动。当振动检测部检测到异常的振动时、即检测到在通常动作时不会产生的振动时，判断装置判断为产品存在异常。

另一方面，在振动检测部发生故障的情况下，即便产品产生异常的振动，振动检测部也无法检测出该振动。或者，在传递布线例如发生断线等故障的情况下，无法将振动检测部的检测结果朝判断部传递。这样，即便产品产生异常的振动，在该异常的振动无法朝判断部传递的情况下，判断部判断为产品无异常。

发明内容

本发明要解决的课题在于，提供能够提高检测精度的检查装置以及异常检测方法。

根据一个实施方式，检查装置具备：设置部，用于设置被检查物；振动检测部，输出与上述被检查物的振动相对应的信号；判断部，基于上述检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，并且对上述被检查物相对于上述设置部设置时的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成对上述设置部的构成要素各自的固有振动频率的振动功率进行表示的振动信息，并基于上述振动信息来判断上述检查装置有无异常；以及传递部，将上述检测部的输出信号朝上述判断部传递。

发明的效果

本发明能够提高检查装置以及异常检测方法的检测灵敏度。

附图说明

图1是表示第一实施方式的检查装置的立体图。

图2是表示该检查装置的动作的流程图。

图3是具体地表示该流程图的步骤ST10的流程图。

图4是表示该检查装置的控制装置对第二夹持部发送控制信号以使其从解除位置移动至夹持位置之后、振动检测传感器输出的信号的图表。

图5是表示振动信息的图表。

图6是表示对该振动信息与第一允许范围以及第二允许范围进行比较的情况的图表。

图7是表示该振动检测传感器或者该检查装置的传递布线存在异常的情况下的振动信息的图表。

图8是表示第二实施方式的检查装置的立体图。

图9是表示该检查装置的动作的流程图的步骤ST10的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对多个实施例进行说明。在附图中，相同符号表示相同或者类似的部分。