[发明专利]一种石墨烯/Cu/Ni复合电极及其制备方法有效
申请号: | 201510094943.X | 申请日: | 2015-03-03 |
公开(公告)号: | CN104681801B | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 周文利;李阳;辛超;朱宇 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01M4/38 | 分类号: | H01M4/38 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人: | 廖盈春 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 cu ni 复合 电极 及其 制备 方法 | ||
1.一种石墨烯/Cu/Ni复合电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)在基底上淀积一层Ni膜,再在Ni膜上淀积一层Cu膜,得到Cu/Ni复合金属基底;其中,Ni膜与Cu膜的厚度比为1:(3~10);
(2)利用CVD方法,在Cu/Ni复合金属基底上生长石墨烯薄膜;
所述步骤(2)进一步包括如下步骤:
(A1)在Ar和H2的混合气氛中,升温至400℃~800℃,并保温3h~5h;
(A2)继续升温至1000℃~1050℃;
(A3)向Ar和H2的混合气氛中通入碳氢化合物作为碳源,保温15min~30min;
(A4)在Ar和H2的混合气氛中,降温至室温。
2.一种石墨烯/Cu/Ni复合电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)在基底上制备图形化的光刻胶;
(2)淀积一层Ni膜,再在Ni膜上淀积一层Cu膜;其中,Ni膜与Cu膜的厚度比为1:(3~10);
(3)去除光刻胶,得到图形化的Cu膜和Ni膜;
(4)利用CVD方法,在图形化的Cu膜上生长石墨烯薄膜;
所述步骤(4)进一步包括如下步骤:
(A1)在Ar和H2的混合气氛中,升温至400℃~800℃,并保温3h~5h;
(A2)继续升温至1000℃~1050℃;
(A3)向Ar和H2的混合气氛中通入碳氢化合物作为碳源,保温15min~30min;
(A4)在Ar和H2的混合气氛中,降温至室温。
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