[发明专利]一种石墨烯/Cu/Ni复合电极及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510094943.X 申请日: 2015-03-03
公开(公告)号: CN104681801B 公开(公告)日: 2017-06-16
发明(设计)人: 周文利;李阳;辛超;朱宇 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01M4/38 分类号: H01M4/38
代理公司: 华中科技大学专利中心42201 代理人: 廖盈春
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨 cu ni 复合 电极 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种石墨烯/Cu/Ni复合电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)在基底上淀积一层Ni膜,再在Ni膜上淀积一层Cu膜,得到Cu/Ni复合金属基底;其中,Ni膜与Cu膜的厚度比为1:(3~10);

(2)利用CVD方法,在Cu/Ni复合金属基底上生长石墨烯薄膜;

所述步骤(2)进一步包括如下步骤:

(A1)在Ar和H2的混合气氛中,升温至400℃~800℃,并保温3h~5h;

(A2)继续升温至1000℃~1050℃;

(A3)向Ar和H2的混合气氛中通入碳氢化合物作为碳源,保温15min~30min;

(A4)在Ar和H2的混合气氛中,降温至室温。

2.一种石墨烯/Cu/Ni复合电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)在基底上制备图形化的光刻胶;

(2)淀积一层Ni膜,再在Ni膜上淀积一层Cu膜;其中,Ni膜与Cu膜的厚度比为1:(3~10);

(3)去除光刻胶,得到图形化的Cu膜和Ni膜;

(4)利用CVD方法,在图形化的Cu膜上生长石墨烯薄膜;

所述步骤(4)进一步包括如下步骤:

(A1)在Ar和H2的混合气氛中,升温至400℃~800℃,并保温3h~5h;

(A2)继续升温至1000℃~1050℃;

(A3)向Ar和H2的混合气氛中通入碳氢化合物作为碳源,保温15min~30min;

(A4)在Ar和H2的混合气氛中,降温至室温。

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