[发明专利]薄膜法兰

权利要求书

1.一种薄膜法兰，其特征在于，包括：法兰盘、真空槽、环状的薄膜和进气孔，其中：

所述进气孔贯通所述法兰盘，所述真空槽位于所述法兰盘的端面；

所述薄膜与所述法兰盘焊接固定，且所述薄膜与所述法兰盘的连接处为一定角度的倒角，所述倒角处薄膜与法兰盘相吻合；

所述薄膜封盖于所述进气孔上方。

2.根据权利要求1所述的薄膜法兰，其特征在于：

所述真空槽为环形凹槽。

3.根据权利要求1所述的薄膜法兰，其特征在于：

所述法兰盘内设有两个所述进气孔；且两所述进气孔分置于所述真空槽的两侧。

4.根据权利要求1-3任一项所述的薄膜法兰，其特征在于：

所述真空槽的纵截面为等腰梯形或矩形。

5.根据权利要求1所述的薄膜法兰，其特征在于：

所述倒角与所述法兰盘端面的夹角为4°-6°。

6.根据权利要求3所述的薄膜法兰，其特征在于：

所述法兰盘的周面靠近所述倒角处设有应力槽；

所述应力槽为环形凹槽，且所述应力槽以所述法兰盘的中心为圆心，与所述真空槽呈同心圆分布。

7.根据权利要求6所述的薄膜法兰，其特征在于：

所述真空槽连接有真空孔，所述真空孔连接有真空管。

8.根据权利要求1-3任一项所述的薄膜法兰，其特征在于：

所述法兰盘上背对所述真空槽的一侧设有至少一圈凸起。