[发明专利]半导体装置及其制造方法

说明书

相关文献的引用

本申请以2014年3月18日申请的在先日本专利申请第2014－055666号的优先权为基础，并请求其利益，其内容整体通过引用包含于此。

技术领域

这里说明的实施方式涉及半导体装置及其制造方法。

背景技术

近年来，以提高汽车的燃料消耗定额为目的，将内燃机和电动机并用的混合动力车急速普及。此外，仅用电动机即可行驶的电动汽车的产品化得以进展。为了实现这些汽车，在电池与电动机间，需要进行从直流电力向交流电力的变换以及从交流电力向直流电力的变换的电力变换装置。

在混合动力车以及电动汽车中，要求电力变换装置的小型化、高可靠性。为了谋求电力变换装置的小型化、高可靠性，需要冷却效率高的半导体装置(半导体模块)。在半导体装置(半导体模块)中，提出了将导电体连接于半导体元件的表背面、从导电体向冷却器散热的两面散热型的电力变换装置结构。

发明内容

本发明的实施方式的目的在于，提供能够谋求小型化、可靠性的提高的半导体装置。

根据一个实施方式，半导体装置具有第一～第四半导体元件、第一～第三电力端子。第一半导体元件设在第一导电体与第二导电体之间，第一半导体元件的第一电极连接于第一导电体，第一半导体元件的第二电极连接于第二导电体，第一半导体元件的控制电极连接于第一信号端子。第二半导体元件设在第一导电体与第二导电体之间，第二半导体元件的第一电极连接于第一导电体，第二半导体元件的第二电极连接于第二导电体。第三半导体元件设在第三导电体与第四导电体之间，第三半导体元件的第一电极连接于第三导电体，第三半导体元件的第二电极连接于第四导电体，第三半导体元件的控制电极连接于第二信号端子。第四半导体元件设在第三导电体与第四导电体之间，第四半导体元件的第一电极连接于第三导电体，第四半导体元件的第二电极连接于第四导电体。第一电力端子的一端连接于第二导电体，第一电力端子的另一端比第二导电体更向外侧延伸。第二电力端子将第一导电体和第四导电体连接，比第一导电体及第四导电体更向外侧延伸。第三电力端子的一端连接于第三导电体，第三电力端子的另一端比第三导电体更向外侧延伸。

发明效果：

本发明能够谋求半导体装置的小型化、可靠性的提高。

附图说明

图1是表示第一实施方式的电力变换装置的电路图。

图2是使用作为第一实施方式的半导体装置的半导体模块构成的电力变换装置的布线图。

图3是将作为第一实施方式的半导体装置的半导体模块载置在冷却器上时的剖面图。

图4是表示第一实施方式的半导体模块的构成部件的分解立体图。

图5是表示第一实施方式的半导体模块的立体图。

图6是表示第一实施方式的半导体模块的立体图。

图7是表示第一实施方式的半导体模块的剖面图。

图8是透视第一实施方式的半导体模块的模制树脂而表示内部构造的正面图。

图9是透视第一实施方式的半导体模块的模制树脂而表示内部构造的立体图。

图10是透视第一实施方式的半导体模块的模制树脂而表示内部构造的立体图。

图11是表示第一实施方式的半导体模块的平面图。

图12是表示第一实施方式的半导体模块的正面图。

图13是表示第一实施方式的半导体模块的侧面图。

图14是表示用于第一实施方式的半导体模块的引线框的立体图。

图15是表示作为第二实施方式的半导体装置的半导体模块的剖面图。

图16是表示作为第三实施方式的半导体装置的半导体模块的立体图。

图17是表示第三实施方式的半导体模块的连接例的图。

图18A～图18F是说明作为第四实施方式的半导体装置的半导体模块的制造方法的图。

具体实施方式

以下，进一步对于多个实施例，一边参照附图一边进行说明。附图中，同一符号表示相同或类似部分。另外，各图是用于实施方式及促进其理解的示意图，其形状、尺寸、比等存在与实际装置不同之处，它们能够参酌以下的说明和公知的技术而适当进行设计变更。

对于第一实施方式的半导体装置，参照附图进行说明。图1是表示电力变换装置的电路图。