[发明专利]工件研磨方法和工件研磨装置

权利要求书

1.一种工件研磨方法，其包括如下步骤：

将所述工件的表面压到转动研磨板的研磨部上；以及

在执行将所述工件的表面压到所述转动研磨板的研磨部上的同时供给研磨液，

所述方法的特征在于，将通过气体放电而生成的等离子体形式的活性化气体转变成微纳米气泡并混入所述研磨液。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述活性化气体直接混入已经混有磨粒的所述研磨液。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过使含有磨粒的液体与含有所述活性化气体的另一液体混合来制备所述研磨液。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述另一液体为水。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，待被活性化的气体为空气、氧气、非活性气体、氟气或它们的混合物。

6.一种工件研磨装置，其包括：

研磨液供给部；

研磨板，所述研磨板具有研磨部，在所述研磨板转动时，随着供给研磨液，将工件的表面压在所述研磨部上从而研磨所述工件；

气体放电部，所述气体放电部用于通过气体放电来生成等离子体形式的活性化气体；以及

气泡生成部，所述气泡生成部用于将通过所述气体放电部而已经被活性化的所述活性化气体转变成微纳米气泡，

其中，所述活性化气体被混入所述研磨液。

7.根据权利要求6所述的工件研磨装置，其特征在于，将磨粒混入所述研磨液，并且

所述气泡生成部使所述活性化气体的微纳米气泡与含有所述磨粒的研磨液直接混合。

8.根据权利要求6所述的工件研磨装置，其特征在于，所述气泡生成部使所述活性化气体的微纳米气泡混入另一液体，并且

已经从所述研磨液供给部供给的且含有磨粒的所述研磨液与含有所述活性化气体的另一液体混合。

9.根据权利要求8所述的工件研磨装置，其特征在于，所述另一液体为水。

10.根据权利要求6所述的工件研磨装置，其特征在于，所述气体放电部和所述气泡生成部是由电极/气体供给部和高压电源组成的，所述电极/气体供给部具有用作电极和气体供给部的多孔构件，并且所述电极/气体供给部设置于所述研磨板，所述高压电源用于向所述电极/气体供给部施加高压以产生等离子体形式的活性化气体，

其中，通过使气体经过所述多孔构件而形成的所述活性化气体的气泡被混入从所述研磨液供给部供给至所述研磨板的所述研磨液。

11.根据权利要求6至10中任一项所述的工件研磨装置，其特征在于，待被活性化的气体为空气、氧气、非活性气体、氟气或它们的混合物。