[发明专利]一种二极管裸晶圆高速双针测试装置

权利要求书

1.一种二极管裸晶圆高速双针测试装置，包括第一测试针（1）和第二测试针（2），一个裸晶圆吸片台（3）,该裸晶圆吸片台（3）用于放置待测裸晶圆芯片（4）; 其特征是：

一个测试仪，该测试仪包括安装板（5）,及安装板（5）上设置的弹片绝缘垫块（7）, 弹片绝缘垫块（7）上对称设有向两侧延伸的弹片（8）及其上的两个弹片触点（9）,与两个弹片触点（9）相对应的一侧对称设有触点安装座（11）,每一触点安装座（11）的一端设有与弹片触点（9）相对应的两个触点（10）,触点安装座（11）另一端与气缸（13）连接，所述的气缸（13）上带有第一进气接头（14）和第二进气接头（15）,还包括安装板（5）上安装有电磁阀（17）,所述的电磁阀（17）上带有第一接头（16）、第二接头（19）和气源接头（18）,所述的第一接头（16）和第二接头（19）分别通过气管与气缸（13）上的第一进气接头（14）和第二进气接头（15）连接，所述气源接头（18）通过气管与外接的气源连接，测试时，两个弹片触点（9）和两个触点（10）组成的电极端与第一测试针（1）和第二测试针（2）的一端连接，第一测试针（1）和第二测试针（2）的另一端与裸晶圆吸片台（3）上的待测裸晶圆芯片（4）接触；

所述的测试仪是一个具有 X/Y/Z三个方向运动的平台。

2.根据权利要求1所述的一种二极管裸晶圆高速双针测试装置，其特征是，所述的弹片（8）安装在弹片绝缘垫块（7）上，该弹片绝缘垫块（7）为绝缘材料。

3.根据权利要求1所述的一种二极管裸晶圆高速双针测试装置，其特征是，所述的弹片（8）安装在弹片安装架（6）上，该弹片安装架（6）为L型。

4.根据权利要求1所述的一种二极管裸晶圆高速双针测试装置.其特征是，所述的弹片（8）为T型。