[发明专利]关键尺寸测量设备的光源亮度调整系统和方法

权利要求书

1.一种关键尺寸测量设备的光源亮度调整系统，包括：

校准标记单元，通过光刻工艺形成在显示面板上，并且设置有多个标记；

标记图案获取单元，配置为获取所述多个标记的图案；

标记数据采集单元，配置为基于所述多个标记的图案，获取所述多个标记的实际线宽和线距，并计算所述实际线宽的平均值和所述实际线距的平均值之和与预定线宽和预定线距之和的比值；

标记数据判定单元，配置为确定所述比值是否在预定范围内；以及

光源亮度自动调整单元，配置为如果标记数据判定单元确定所述比值没有在预定范围内，则产生光源亮度调整信号。

2.根据权利要求1所述的光源亮度调整系统，其中，所述多个标记设置为水平、45度倾斜或垂直方向的线宽/线距的栅格型图案。

3.根据权利要求1所述的光源亮度调整系统，其中，所述校准标记单元形成在显示面板中每个薄膜晶体管层的一角上。

4.根据权利要求1所述的光源亮度调整系统，其中，所述光源亮度调整系统被配置为自光源亮度固定起预定时间段之后进行亮度调整。

5.根据权利要求1所述的光源亮度调整系统，其中，所述预定范围是1.0±0.1。

6.根据权利要求1所述的光源亮度调整系统，其中，所述预定线宽与所述预定线距的值相等，并且在3.5μm至10μm的范围内。

7.一种关键尺寸测量设备的光源亮度调整方法，包括以下步骤：

通过光刻工艺在显示面板上形成校准标记单元，所述校准标记单元设置有多个标记；

获取所述多个标记的图案；

基于所述多个标记的图案，获取所述多个标记的实际线宽和线距，并计算所述实际线宽的平均值和所述实际线距的平均值之和与预定线宽和预定线距之和的比值；

确定所述比值是否在预定范围内；并且

如果确定所述比值没有在预定范围内，则产生光源亮度调整信号。

8.根据权利要求7所述的光源亮度调整方法，其中，所述多个标记设置为水平、45度倾斜或垂直方向的线宽/线距的栅格型图案。

9.根据权利要求7所述的光源亮度调整方法，其中，所述校准标记单元形成在显示面板中每个薄膜晶体管层的一角上。

10.根据权利要求7所述的光源亮度调整方法，其中，所述光源亮度调整方法自光源亮度固定起预定时间段之后进行。

11.根据权利要求7所述的光源亮度调整方法，其中，所述预定范围是1.0±0.1。

12.根据权利要求7所述的光源亮度调整系统，其中，所述预定线宽与所述预定线距的值相等，并且在3.5μm至10μm的范围内。