[发明专利]一种激光烧蚀靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201510113779.2 | 申请日： | 2015-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN104669748A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 费金华 | 申请（专利权）人： | 吴江华诚复合材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/08 | 分类号： | B32B27/08;B32B27/30;B32B27/18;B32B7/12;C08L31/04;C08L29/04;C08L79/04;C08L71/02;C08K5/101;B29C47/06 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 连围 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 烧蚀靶材 及其 制备 方法 | ||
1.一种激光烧蚀靶材，其特征在于，依次由(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层、复合材料层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层制成，各层之间涂有粘合剂。
2.根据权利要求1所述激光烧蚀靶材，其特征在于，所述(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层的厚度为50-80μm；所述复合材料层的厚度为250-430μm；所述聚甲基丙烯酸乙烯酯的厚度为40-60μm；所述粘合剂的涂覆厚度为10-20μm。
3.根据权利要求1所述激光烧蚀靶材，其特征在于，所述粘合剂选自丙烯酸酯基、聚己二酰癸二胺、氯化石蜡和硼硅酸中的一种或几种的混合。
4.根据权利要求1所述激光烧蚀靶材，其特征在于，所述复合材料层由包含以下重量份的组分制成：
5.一种激光烧蚀靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
(1)按权利要求4所述的配比称取各组分原料，将聚醋酸乙烯树脂60-75份、聚乙烯醇15-18份、羟苯丙酯3-5份、壬基酚聚氧乙烯醚3-5份、聚乙烯基咪唑2-4份和聚壬二酸酐1.5-2.5份，放入高速混合机中混合均匀，待料自然升温到65-70℃后，换低速档500-600rpm混合，至90-105℃出料，得到复合材料；
(2)将步骤1中制得的复合材料在120-135℃下经双螺杆挤出机挤出，造粒，得到混合物粒子；
(3)将步骤2中所述混合物粒子在双螺杆挤出机中挤出，并压制成复合材料，将所述复合材料通过粘合剂分别与(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层连接，并经三辊压延机压延成型，得到激光烧蚀靶材。
6.根据权利要求5所述的激光烧蚀靶材的制备方法，其特征在于，所述高速混合机的搅拌速率为5000-6500r/min。
7.根据权利要求5所述的激光烧蚀靶材的制备方法，其特征在于，所述压延机的辊速为5-50rpm。
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