[发明专利]一种激光烧蚀靶材及其制备方法

说明书

技术领域

本发明属于新材料领域，特别涉及一种激光烧蚀靶材及其制备方法。

背景技术

靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

激光烧蚀技术是通过飞秒-纳秒量级的脉冲激光将材料表面烧蚀，被广泛应用于微加工、外科手术、X射线激光、生物分子质谱以及艺术品修复/清洁等领域。

中国专利CN1858308A中顾忠泽采用静电纺丝法制备低密度多孔二氧化锡纳米纤维激光靶材料，该方法为按质量比配置20％～40％的聚乙烯基吡咯烷酮溶液，溶剂采用无水乙醇溶剂，取四氯化锡，按照质量比为13～15％的比例搅拌下缓慢加入无水乙醇，室温下搅拌，然后将上述两种溶液混合室温下剧烈搅拌，至溶液完全混合，作为喷丝溶液，静电纺丝。但该材料的力学强度不佳，影响使用寿命。

发明内容

针对上述的需求，本发明特别提供了一种激光烧蚀靶材及其制备方法，本发明的操作工艺简单方便，可以通过该方法生产不同组成厚度、不同宽度的激光烧蚀靶材。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种激光烧蚀靶材，依次由(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层、复合材料层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层制成，各层之间涂有粘合剂。

所述(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层的厚度为50-80μm；所述复合材料层的厚度为250-430μm；所述聚甲基丙烯酸乙烯酯的厚度为40-60μm；所述的粘合剂的涂覆厚度为10-20μm。

所述粘合剂选自丙烯酸酯基、聚己二酰癸二胺、氯化石蜡和硼硅酸中的一种或几种的混合。

所述复合材料层由包含以下重量份的组分制成：

一种激光烧蚀靶材的制备方法，该方法包括以下步骤：

(1)按权利要求4所述的配比称取各组分原料，将聚醋酸乙烯树脂60-75份、聚乙烯醇15-18份、羟苯丙酯3-5份、壬基酚聚氧乙烯醚3-5份、聚乙烯基咪唑2-4份和聚壬二酸酐1.5-2.5份，放入高速混合机中混合均匀，待料自然升温到65-70℃后，换低速档500-600rpm混合，至90-105℃出料，得到复合材料；

(2)将步骤1中制得的复合材料在120-135℃下经双螺杆挤出机挤出，造粒，得到混合物粒子；

(3)将步骤2中所述混合物粒子在双螺杆挤出机中挤出，并压制成复合材料，将所述复合材料通过粘合剂分别与(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层连接，并经三辊压延机压延成型，得到激光烧蚀靶材。

所述高速混合机的搅拌速率为5000-6500r/min。

所述压延机的辊速为5-50rpm。

本发明与现有技术相比，其有益效果为：

(1)本发明制得的激光烧蚀靶材在复合材料层中特别加入了羟苯丙酯、壬基酚聚氧乙烯醚、聚乙烯基咪唑和聚壬二酸酐，使其具有良好的稳定性和力学强度。

(2)本发明的激光烧蚀靶材，成本较低，并且制备方法简单，易于工业化生产。；

具体实施方式

以下结合实施例对本发明作进一步的说明。

实施例1

(1)将聚醋酸乙烯树脂60kg、聚乙烯醇15kg、羟苯丙酯3kg、壬基酚聚氧乙烯醚3kg、聚乙烯基咪唑2kg和聚壬二酸酐1.5kg，放入高速混合机中以5000r/min的搅拌速率混合均匀，待料自然升温到65℃后，换低速档500rpm混合，至90℃出料，得到复合材料；

(2)将步骤1中制得的复合材料在120℃下经双螺杆挤出机挤出，造粒，得到混合物粒子；

(3)将步骤2中所述混合物粒子在双螺杆挤出机中挤出，并压制成复合材料，将所述复合材料通过粘合剂分别与(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层连接，并经三辊压延机以5rpm辊速压延成型，得到激光烧蚀靶材。

制得激光烧蚀靶材的性能测试结果如表1所示。

实施例2

(1)将聚醋酸乙烯树脂65kg、聚乙烯醇18kg、羟苯丙酯3kg、壬基酚聚氧乙烯醚3kg、聚乙烯基咪唑2kg和聚壬二酸酐1.5kg，放入高速混合机中以5000r/min的搅拌速率混合均匀，待料自然升温到65℃后，换低速档500rpm混合，至90℃出料，得到复合材料；