[发明专利]边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

权利要求书

1.一种边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板，包括透明基板以及形成在透明基板上的多条扫描线和多条数据线，所述多条扫描线和所述多条数据线交叉限定多个像素区域，其特征在于，所述像素区域包括：

第一绝缘层，形成于所述透明基板上；

第二绝缘层，形成于所述第一绝缘层上，所述第二绝缘层包括间隔排列的多个绝缘凸起部，所述多个绝缘凸起部凸出于所述第一绝缘层的表面上；

第一电极层，形成于所述第二绝缘层上，所述第一电极层包括多个电极平部和多个电极凸部，所述多个电极平部覆盖所述第一绝缘层的未形成有所述绝缘凸起部的表面上，所述多个电极凸部分别覆盖所述多个绝缘凸起部；

第三绝缘层，形成于所述第一电极层上，所述第三绝缘层覆盖所述多个电极平部的上表面以及所述多个电极凸部的侧表面，所述多个电极凸部的上表面未被所述第三绝缘层覆盖而露出；以及

第二电极层，形成于所述第三绝缘层上，所述第二电极层包括间隔排列的多个电极部，所述多个电极部分别位于所述多个电极平部的上方，所述多个电极部与所述多个电极凸部相互错开且交替设置,所述多个电极部的上表面与所述多个电极凸部的上表面位于同一水平面上，各所述电极部的宽度小于各所述电极平部的宽度，所述第三绝缘层上于对应各所述电极平部的上方形成有凹陷，各所述电极部收容在所述凹陷中。

2.根据权利要求1所述的边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，所述第一绝缘层和所述第二绝缘层为同一层结构，所述第一绝缘层和所述第二绝缘层的各绝缘凸起部为一体成型。

3.根据权利要求1所述的边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，所述第一电极层和所述第二电极层其中之一为像素电极，另一为公共电极，且所述多个电极部之间彼此电性连接在一起。

4.一种液晶显示面板，包括薄膜晶体管阵列基板、彩色滤光片基板以及夹设于所述薄膜晶体管阵列基板与所述彩色滤光片基板之间的液晶分子，其特征在于，所述薄膜晶体管阵列基板为权利要求1至3任一项所述的边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板。

5.一种边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板的制造方法，其特征在于，包括：

在透明基板上形成第一绝缘层；

在所述第一绝缘层上形成第二绝缘层，所述第二绝缘层包括间隔排列的多个绝缘凸起部，所述多个绝缘凸起部凸出于所述第一绝缘层的表面上；

在所述第二绝缘层上形成第一电极层，所述第一电极层包括多个电极平部和多个电极凸部，所述多个电极平部覆盖所述第一绝缘层的未形成有所述绝缘凸起部的表面上，所述多个电极凸部分别覆盖所述多个绝缘凸起部；

在所述第一电极层上形成第三绝缘层，所述多个电极凸部的上表面未被所述第三绝缘层覆盖而露出；以及

在所述第三绝缘层上形成第二电极层，所述第二电极层包括间隔排列的多个电极部，所述多个电极部分别位于所述多个电极平部的上方，所述多个电极部与所述多个电极凸部相互错开且交替设置，所述多个电极部的上表面与所述多个电极凸部的上表面设置位于同一水平面上。

6.根据权利要求5所述的边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板的制造方法，其特征在于，在形成第一绝缘层和第二绝缘层时，利用一道光罩制程同时制作形成所述第一绝缘层和所述第二绝缘层。