[发明专利]边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板及其制造方法有效
申请号: | 201510119221.5 | 申请日: | 2015-03-18 |
公开(公告)号: | CN104714343B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 李东朝;王俊;李海波;祝秀芬;唐先柱 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/12;H01L23/485;H01L21/84;H01L21/48 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 蔡光仟 |
地址: | 215301 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 绝缘层 电极凸部 凸起部 绝缘 第一电极 电极 电极部 平部 薄膜晶体管阵列基板 边缘场开关模式 第二电极 间隔排列 绝缘层覆盖 交替设置 透明基板 阵列基板 上表面 错开 覆盖 制造 | ||
一种边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板及其制造方法,阵列基板包括第一绝缘层,形成于透明基板上;第二绝缘层,形成于第一绝缘层上,第二绝缘层包括间隔排列的多个绝缘凸起部,多个绝缘凸起部凸出于第一绝缘层的表面上;第一电极层,形成于第二绝缘层上,第一电极层包括多个电极平部和多个电极凸部,多个电极平部覆盖第一绝缘层的未形成有绝缘凸起部的表面上,多个电极凸部分别覆盖多个绝缘凸起部;第三绝缘层,形成于第一电极层上,多个电极凸部的上表面未被第三绝缘层覆盖而露出;第二电极层,形成于第三绝缘层上,第二电极层包括间隔排列的多个电极部,多个电极部分别位于多个电极平部的上方,多个电极部与多个电极凸部相互错开且交替设置。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种边缘场开关模式的薄膜晶体管阵列基板及其制造方法。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)具有画质好、体积小、重量轻、低驱动电压、低功耗、无辐射和制造成本相对较低的优点,在平板显示领域占主导地位,且随着技术的发展,人们对高穿透率,高对比度,宽视角,低功耗的液晶显示器的需求不断提高,传统的扭曲向列模式(Twisted Nematic,TN)的液晶显示面板存在窄视角的问题,为了实现广视角的液晶显示,利用横向电场的面内切换模式(In-Plane Switch,IPS)的液晶显示面板以及利用边缘电场的边缘场开关模式(Fringe Field Switching,FFS)的液晶显示面板均被开发出来,边缘场开关模式的液晶显示面板相对于面内切换模式的液晶显示面板来说既有广视角也有高透过率的优点。
图1是现有的边缘场开关模式的液晶显示面板的局部平面图,为了图示的清楚和简化起见,省略了其中的彩色滤光片基板;图2是沿图1中II-II线的局部剖面示意图。请参图1和图2,该边缘场开关模式的液晶显示面板包括薄膜晶体管阵列基板10、彩色滤光片基板(图未示)以及夹设于薄膜晶体管阵列基板10与彩色滤光片基板之间的液晶分子(图未示),薄膜晶体管阵列基板10包括透明基底11以及形成于透明基底11上的多条扫描线101和多条数据线102,多条扫描线101和多条数据线102交叉限定多个像素区域。每个像素区域包括第一电极12、绝缘层13、第二电极14以及薄膜晶体管103,第一电极12与第二电极14极性相反,分别设置于绝缘层13的不同侧。第二电极14包括多个条形开槽140以及借由所述多个条形开槽140形成的并且彼此电性连接的多个条形电极部141。第一电极12与第二电极14其中之一为像素电极,另一为公共电极。例如,第一电极12为公共电极,第二电极14为像素电极。薄膜晶体管103用于控制像素电极。薄膜晶体管103的栅极为对应扫描线101的一部分或与对应的扫描线101电性连接,薄膜晶体管103的源极与对应的数据线102电性连接,薄膜晶体管103的漏极通过位于绝缘层13上的通孔104与像素电极电性连接。
如此将极性相反的两电极层通过绝缘层分离而重叠设置,这样通电时,下侧的第一电极12与上侧的第二电极14形成边缘电场,在该电场作用下,电极间和电极上的液晶分子均在平行于面板的水平面内旋转,保证在各个方向上光均穿过液晶分子的短轴,没有方向依赖性而扩大视角。在实现广视角的前提下,同时实现了高透光效率、高对比度、高亮度、低色差等优良特性。
然而,在该边缘场开关模式的液晶显示面板中,由于第一电极12是平坦的一层且位于第二电极14的下方,第一电极12与第二电极14之间隔有绝缘层13而在垂直面板的方向上相距较远,第一电极12与第二电极14之间需要较大的电压差才能正常驱动液晶分子在水平面内的扭转,尤其是第二电极14的条形电极部141正上方处具有较强的竖直方向电场分量,而水平方向电场分量较弱,需要较大的电压才能驱使条形电极部141正上方处的液晶分子在水平面内扭转,从而导致这种边缘场开关模式的液晶显示面板需要采用较大的驱动电压,造成功耗偏大。
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