[发明专利]用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置

权利要求书

1.一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，包括遮板(1)、密封圈(2)、快卸连接器(3)、磁流体密封件(4)、卡环(5)、手柄(6)、挡块(15)、钢丝挡圈(8)、挡玻璃(9)、密封圈(10)、观察玻璃(11)、橡胶垫圈(12)和法兰盖(13)，其特征在于，钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构；遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。

2.根据权利要求1所述的腔室保护监测装置，其特征在于，在腔室保护监测装置底座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述腔室保护监测装置底座密封焊接在真空腔室上，挡玻璃在腔室保护监测装置和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合。

3.根据权利要求2所述的腔室保护监测装置，其特征在于，磁流体密封件通过快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上，所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上，磁流体密封件的真空腔内一端设有遮板，另一端设有卡环和手柄，遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接。

4.如权利要求1所述的室腔室保护监测装置，其特征在于，所述的钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈由腔室保护监测装置座内腔的凹槽、法兰盖和螺钉共同固定。

5.如权利要求1所述的腔室保护监测装置，其特征在于，所述的挡板玻璃由钢丝挡圈卡持在腔室保护监测装置座内腔，并与观察玻璃贴合。

6.如权利要求1所述的腔室保护监测装置，其特征在于，所述的钢丝挡圈开设有缺口，并在缺口尾端折有弯爪。

7.如权利要求1所述的腔室保护监测装置，其特征在于，所述的磁流体密封件作为旋转机构。

8.如权利要求1所述的腔室保护监测装置，其特征在于，所述快卸连接器对磁流体密封件进行密封联接。