[发明专利]用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置。

背景技术

保护监测装置是真空镀膜设备运行过程中至关重要的装置，起着非常重要的作用。操作者使用保护监测装置实时监测真空腔室内设备的运行状况，从而控制镀膜进度，保证镀膜质量和设备运行的安全性。传统的保护监测装置结构简单，在镀膜过程中，真空腔室内会有少量溅射物附着在观察玻璃上。随着溅射物的不断沉积，保护监测装置玻璃会变得模糊不清，甚至无法观察真空腔室内的工作情况，直接影响到了作业的监控，带来安全隐患，不够安全可靠。

发明内容

本发明旨在解决现有技术中的不足，提供一种结构新颖的用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置。

为了达成上述目的，提供了一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄、挡块、钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖。钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构；遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。

一些实施例中，在腔室保护监测装置底座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，所述腔室保护监测装置底座密封焊接在真空腔室上，挡玻璃在腔室保护监测装置和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合。

一些实施例中，磁流体密封件通过快卸连接器和密封圈固联在法兰连接器上，所述法兰连接器密封焊接在真空腔室上，磁流体密封件的真空腔内一端设有遮板，另一端设有卡环和手柄，遮板在重力作用下自动转回直至其下沿与挡块相接。

一些实施例中，所述的钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈由腔室保护监测装置座内腔的凹槽、法兰盖和螺钉共同固定。

一些实施例中，所述的挡板玻璃由钢丝挡圈卡持在腔室保护监测装置座内腔，并与观察玻璃贴合。

一些实施例中，所述的钢丝挡圈开设有缺口，并在缺口尾端折有弯爪。

一些实施例中，所述的磁流体密封件作为旋转机构。

一些实施例中，所述快卸连接器对磁流体密封件进行密封联接。

根据本发明的用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，采用了双重保护结构，挡玻璃置于腔室保护监测装置座内腔，在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板置于真空腔室内，遮蔽腔室保护监测装置视口，构成第二重保护。其次，本发明的挡玻璃由钢丝挡圈卡持在腔室保护监测装置座内腔，并与观察玻璃贴合，可以更好的保护观察玻璃。钢丝挡圈开有缺口，并在缺口尾端折有弯爪。通过捏住弯爪即可拆卸钢丝挡圈，方便取出挡玻璃进行更换。另外，本发明采用磁流体密封件作为旋转动力传输件，使得传动机构简洁紧凑，密封性好。采用快卸连接器进行密封联接，便于装置拆卸，且密封性能好。遮板可在重力的作用下，自动转回直至其下沿与挡块相接，将腔室保护监测装置完全遮蔽。

以下结合附图，通过示例说明本发明主旨的描述，以清楚本发明的其他方面和优点。

附图说明

结合附图，通过下文的详细说明，可更清楚地理解本发明的上述及其他特征和优点，其中：

图1为根据本发明实施例的腔室保护监测装置的结构示意图；及

图2为根据本发明实施例的腔室保护监测装置的遮板施用示意图。

具体实施方式

参见本发明具体实施例的附图，下文将更详细地描述本发明。然而，本发明可以以许多不同形式实现，并且不应解释为受在此提出之实施例的限制。相反，提出这些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使本技术领域的技术人员完全了解本发明的范围。

现参考附图详细说明根据本发明实施例的腔室保护监测装置。

根据本发明实施例的腔室保护监测装置包括钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖，所述腔室保护监测装置还包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块。

所述腔室保护监测装置的第一重保护由钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成。在腔室保护监测装置座的内腔，由内向外依次装入钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃和橡胶垫圈，该五个部件由腔室保护监测装置座内腔的凹槽、法兰盖和螺钉共同作用固定。所述腔室保护监测装置座密封焊接在真空腔室上。挡玻璃在腔室保护监测装置和真空腔室之间形成间隔，并在钢丝挡圈的作用下与观察玻璃贴合，保护观察玻璃。