[发明专利]光阻剥离组合物和剥离方法，平板、平板显示器及其制法

权利要求书

1.一种光阻剥离组合物，包含：

基于所述组合物的总量，

0.1wt％至30wt％的由下面的化学式1所示的噁唑烷-5-基甲胺或由下面的化学式2所示的六氢嘧啶-5-醇；以及

70wt％至99.9wt％的极性有机溶剂

[化学式1]

[化学式2]

2.根据权利要求1所述的光阻剥离组合物，其中，所述极性有机溶剂是质子极性有机溶剂和非质子极性有机溶剂中的一种，或质子极性有机溶剂和非质子极性有机溶剂中的两种或更多种的组合。

3.根据权利要求1所述的光阻剥离组合物，进一步包含碱性化合物。

4.根据权利要求3所述的光阻剥离组合物，其中，所述碱性化合物是有机碱性化合物和无机碱性化合物中的一种，或有机碱性化合物和无机碱性化合物中的两种或更多种的组合。

5.根据权利要求3所述的光阻剥离组合物，其中，基于所述组合物的总量，所述组合物包含：

0.5wt％至25wt％的化学式1或化学式2的化合物；

70wt％至94wt％的所述极性有机溶剂；以及

0.1wt％至20wt％的所述碱性化合物。

6.根据权利要求3所述的光阻剥离组合物，进一步包含防蚀剂。

7.根据权利要求6所述的光阻剥离组合物，其中，基于所述组合物的总量，所述组合物包含：

1wt％至20wt％的化学式1或化学式2的化合物；

70wt％至94wt％的所述极性有机溶剂；

1wt％至15wt％的所述碱性化合物；以及

0.1wt％至5wt％的所述防蚀剂。

8.一种剥离光阻的方法，包括以下步骤：

(I)将导电金属膜沉积在平板显示器基板上；

(II)在所述导电金属膜上形成光阻膜；

(III)使所述光阻膜选择性地曝光；

(IV)使经曝光的所述光阻膜显影，以形成光阻图案；

(V)使用所述光阻图案作为掩模，蚀刻所述导电金属膜；以及

(VI)在所述蚀刻(V)之后，使用光阻剥离组合物，从所述基板剥离通过形成所述光阻图案和蚀刻所述导电金属膜而变性和固化的光阻，

其中，所述光阻剥离组合物是根据权利要求1所述的光阻剥离组合物。

9.一种制造用于显示器的平板的方法，包括如下步骤：使用权利要求1所述的光阻剥离组合物，从平板基板剥离光阻。

10.一种制造平板显示器的方法，包括如下步骤：使用权利要求1所述的光阻剥离组合物，从平板基板剥离光阻。

11.一种通过权利要求9所述的方法制造的用于显示器的平板。

12.一种通过权利要求10所述的方法制造的平板显示器。