[发明专利]ICP发光分光分析装置

说明书

公开了一种ICP发光分光分析装置。提供一种预先对光电倍增管施加电压以能够迅速地转移至主分析的ICP发光分光分析装置。ICP发光分光分析装置(1)由感应耦合等离子体发生部(10)、聚光部(20)、分光器(30)、检测器(40)以及控制部(60)大致构成。另外，在检测器(40)具备光电倍增管(70)，具有检测器控制部(41)和输入部(42)。由于在光电倍增管(70)存在分压电阻r1~rn，因此由于被施加于光电倍增管(70)的施加电压Ve的变化而放大率不会立即变为固定，但是检测器控制部(41)在从预先向输入部(42)输入分析条件之后起直到向感应耦合等离子体装置(10)导入包括分析对象的元素的样本之前为止的期间中控制空转电压和空转电压施加时间来使倍增率固定。

技术领域

本发明涉及进行包括于溶液样本的元素(例如微量杂质元素)的分析的ICP(Inductively Coupled Plasma；感应耦合等离子体)发光分光分析装置。

背景技术

利用感应耦合等离子体(ICP)对ICP发光分光分析中的溶液样本进行原子化或离子化并在此时对发光的原子发光线(光谱线)进行分光分析来进行微量杂质的定量分析/定性分析的是ICP发光分光分析装置。而且，虽然根据检测出的原子发光线的波长鉴别元素种类，根据强度计算微量元素的浓度，但是原子发光线的强度根据元素种类、元素含有浓度而不同，即使是相同的元素也存在各种波长的原子发光线，因此根据原子发光线的选择而强度也不同。进一步地，作为ICP发光分光分析装置的特性，根据原子发光线的波长而检测效率不同。已知有能够针对更多的元素正确地分析更广的含有浓度范围的ICP发光分光分析装置(例如专利文献1、专利文献2)。

专利文献1是具备以下的发光分光分析用测光装置：将光电倍增管的检测输出与基准值进行比较、将比较输出反馈给光电倍增管的施加电压来使光电倍增管的放大率变化的单元；以及检测施加电压、通过预先存储的施加电压与放大率的相关数据将其转换为放大率、作为检测输出与放大率之比来计算测光值的单元。只要是该发光分光分析用测光装置，就公开了不需要像以往那样估计样本中的各元素的量以对各元素的每一个预先设定敏感度，而能够完全自动化地进行敏感度调整，还能够在宽的动态范围内维持良好的SN比。

专利文献2是以如下为特征的ICP发光分析装置：准备分析元素的浓度以大致固定的比率变化的多个样本，将各样本导入等离子体炬来使其发光，并且关于发光的各样本使施加于光电倍增管的负高压变化以测定在各负高压下的光谱强度，基于这些光谱强度的测定值求出对于各负高压的增益的相关。只要是该ICP发光分析装置，就公开了由于能够通过调整分析样本的浓度来精度良好地求出光电倍增管的增益校正曲线，因此能够省略光源灯，因而与以往相比还谋求成本降低。

现有技术文献。

专利文献。

专利文献1：特公平6-68467号公报

专利文献2：特公平6-68468号公报。

发明内容

发明要解决的课题

专利文献1和专利文献2设为使施加于光电倍增管(检测器)的电压变化以能够进行更广的光量范围的测定。然而，当对光电倍增管施加的高电压变化时，倍增率不立即变为恒定状态而要花费3分钟到5分钟左右的时间，因此存在定量结果的精度暂时下降这样的问题。

本发明是鉴于上述事由而完成的发明，其目的在于提供一种预先对光电倍增管施加电压以能够迅速地转移至主分析的ICP发光分光分析装置。

用于解决课题的方案