[发明专利]可加偏压式薄膜样品架在审
| 申请号： | 201510138693.5 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104694900A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 刘艳松;何智兵;王涛;许华;陈志梅;李玉红 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 偏压 薄膜 样品 | ||
【权利要求书】：
1.可加偏压式薄膜样品架，其特征在于，所述的样品架包括托架（1）、托架底座（2）、金属轴承（3）、连接杆（4）和真空室底座（5）；其连接关系是，所述托架（1）固定连接在托架底座（2）上，所述的连接杆（4）设置在托架底座（2）的下方，连接杆（4）的一端与托架（1）固定连接，另一端与真空室底座（5）固定连接；所述的金属轴承（3）内圈固定在连接杆（4）上、外圈与电缆线连接。
2.根据权利要求1所述的可加偏压式薄膜样品架，其特征在于，所述的托架（1）、托架底座（2）、金属轴承（3）、连接杆（4）、真空室底座（5）为同轴心设置。
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