[发明专利]可加偏压式薄膜样品架

说明书

技术领域

本发明属于薄膜材料的制备技术领域，具体涉及一种可加偏压式薄膜样品架，能够方便磁控溅射镀膜机样品架加载正负偏压。

背景技术

在磁控溅射镀膜过程中，为了提高成膜的均匀性，可以采用使衬底旋转，即衬底放置在旋转盘上，同时，为了改善成膜的质量、提高薄膜沉积速率和增强薄膜与基片的附着力，可以给衬底加偏压。但是若采用电线直接将直流电极与衬底连接，在旋转过程中齿轮会将其绞断，从而不能正常工作。为了解决这一难题，我们可以对原有的样品支架进行改进而能够满足高质量成膜的需要。

发明内容

为了克服现有技术中的样品架不能同时加偏压和旋转的不足，本发明提供一种可加偏压式薄膜样品架，能够方便磁控溅射镀膜机样品架加载正负偏压。

本发明的可加偏压式薄膜样品架，其特点是，所述的样品架包括托架、托架底座、金属轴承、连接杆和真空室底座；其连接关系是，所述托架固定连接在托架底座上，所述的连接杆设置在托架底座的下方，连接杆的一端与托架固定连接，另一端与真空室底座固定连接；所述的金属轴承内圈固定在连接杆上，外圈与电缆线连接。

所述的托架、托架底座、金属轴承、连接杆、真空室底座为同轴心设置。

本发明利用轴承的特性，把金属轴承的内圈固定在托架连接杆上，同时外圈引出电极，连接杆材料为聚四氟乙烯可将真空室底座与托架底座之间隔开。这样，解决了旋转托架和电极连接的难题，也实现了电极和机壳的绝缘问题。

本发明的有益效果是，能够使托架旋转，同时又能够对托架施加持续偏压，结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本发明的可加偏压式薄膜样品架结构示意图；

图中. 1.托架    2.托架底座     3.金属轴承     4.连接杆     5.真空室底座。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

实施例1

图1为本发明的可加偏压式薄膜样品架结构示意图。在图1中，本发明的样品架包括托架1、托架底座2、金属轴承3、连接杆4和真空室底座5；其连接关系是，所述托架1固定连接在托架底座2上，所述的连接杆4设置在托架底座2的下方，连接杆4的一端与托架1固定连接，另一端与真空室底座5固定连接；所述的金属轴承3内圈固定在连接杆4上，外圈与电缆线连接。托架1的材料为聚四氟乙烯。这样，解决了旋转托架1和电极连接的难题，也实现了电极和机壳的绝缘问题。

所述的托架1、托架底座2、金属轴承3、连接杆4、真空室底座5为同轴心设置。