[发明专利]基板检查装置

权利要求书

1.一种基板检查装置，其包括具有与形成于基板的半导体器件的各电极垫接触的探针的探针卡，所述基板检查装置的特征在于：

所述探针卡包括：

检查电路，其再现安装从所述基板切出来的所述半导体器件的电路结构；和

电位测量机构，其测量所述探针和所述检查电路之间的配线的电位，

所述配线的电位根据所述探针和所述电极垫是否电接触而发生变化，并且还根据关于所述探针和所述电极垫的接触的异常状态的原因而发生变化，

所述电位测量机构基于所述配线的电位来进行以下判断，即：判断所述探针和所述电极垫正常电接触；或判断所述探针和所述电极垫没有接触；或判断所述半导体器件直接接地。

2.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于：

在所述探针和所述检查电路之间的配线与所述电位测量机构之间配置有高电阻。

3.如权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于：

所述高电阻的值为500Ω以上。

4.如权利要求1～3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于：

所述探针卡包括：

将所述检查电路和多个所述探针连接的多个所述配线；和

将所述电位测量机构的连接对象切换为多个所述配线中任一者的连接切换机构。

5.如权利要求1～3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于：

所述电位测量机构为比较器、数字万用表DMM或者A/D转换器。