[发明专利]半导体制造组件

说明书

本申请是申请号为201080029578.X，申请日为2010年6月30日，发明名称为“半导体制造组件”的中国专利申请的分案申请。

技术领域

本发明领域包括用于制备包含强化石墨纤维和含氟聚合物的复合材料的方法，所述复合材料用于制备半导体制造组件。

背景技术

包含聚合物(通常为连续相，并且可能包含一种或多种含氟聚合物)和纤维(例如玻璃纤维、碳纤维和石墨纤维)或由聚合物和纤维组成的复合材料制品在本领域中为人们所熟知。将纤维添加到基体聚合物能够改善聚合物的某些特性。这些特性可包括蠕变阻力、拉伸强度和模量、以及挠曲强度和模量。所选的强化纤维一般具有比单独的聚合物更高的拉伸模量和强度。如本文所述，当含氟聚合物被用作基体聚合物时，所得复合材料通常具有含氟聚合物的许多属性，例如耐高温性和耐化学品性，所述属性使得此类复合材料可被用作例如用于化学加工工业的部件。本发明的目的之一是提供生产此类表现出改善特性的聚合物复合材料的方法并提供由所述方法制成的制品。

关于生产聚合物与一种或多种纤维的复合材料的发明背景信息可见于Joseph C.Salamone的Polymeric Materials Encyclopedia(1996年7月23日)，ISBN-10：084932470X，ISBN-13：978-0849324703，第8327-8343页。

双带压力机层压的某个发明背景见于A.Trende，B.T.Astrom，A.Woginger，C.Mayer，M.Neitzel的“Modelling of heat transfer in thermoplastic composites manufacturing:double-belt press laminationin”，Composites Part A:Applied Science and Manufacturing，第30卷，第8期，1999年8月，第935-943页。

已知的相关方法和制品包括但不必限于1995年11月28日公布的题目为“Process for making fluoropolymer composites”的Deakyne等人的美国专利公开5,470,409，1993年8月3日公布的题目为“Preconsolidation process for making fluoropolymer composites”的Deakyne的美国专利公开5,232,975，1979年8月7日公布的题目为“Process and product prepared fromtetrafluoroethylene polymer and graphite fibers”的Mansure的美国专利公开4,163,742，1995年6月27日公布的题目为“Compression molding of structures”的Chesna等人的美国专利公开5,427,731，以及2006年3月14日公布的题目为“Sealing elements for compressor valves”的Spiegl等人的美国专利公开7,011,111。

附加的已知相关方法和制品包括但不必限于1998年6月2日公布的题目为“Glass-fiber-containing non-woven polymer web,and process for preparing same”的Meeker的美国专利公开5,759,927，和1995年10月24日公布的题目为“Method and apparatus for making highly densified sheets”的Held的美国专利公开5,460,764。

仍保持对这些领域中的任何一种改善或组合的改善的需求，包括但不限于：简化的制造方法；能够制备稳健产品和/或可再现产品的稳健的和/或可再现的制造方法；制备增强密度制品的方法；增强密度的制品；制备具有较少金属、金属杂质、离子杂质或相关杂质的产品的方法，尤其是包括溶剂或水的方法；利用维持纤维长度的纤维的方法；制备在整个有用的体积内具有均匀特性的产品的方法；制备具有定向特性(例如拉伸强度、压缩强度或断裂伸长率)的复合材料产品的任何方法，所述定向特性无论在哪个测量方向均为均匀的或优异的(或者在一个方向均匀或优异，或者在两个正交的方向均匀或优异)，等等。

在其中利用复合材料制品的领域中，例如用于半导体制造的设备、飞机部件中、机动车部件中、垫圈中、密封件中等寻求这些改善。

发明内容