[发明专利]尺寸检测装置及基板装载装置

权利要求书

1.一种尺寸检测装置，用于检测被测件中第一部件和第二部件是否处于预设位置；其特征在于，所述尺寸检测装置包括：

用于沿第一方向移动至第一预定位置上，检测所述第一部件的当前位置，并在所述第一部件的当前位置未处于与所述第一预定位置对应的第三预定位置时，发出第一信号的第一检测单元；

用于沿第一方向移动至第二预定位置上，检测所述第二部件的当前位置，并在所述第二部件的当前位置未处于与所述第二预定位置对应的第四预定位置时，发出第二信号的第二检测单元；

用于移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的移动单元；

以及，用于在接收到所述第一信号和/或所述第二信号时，进行报警的报警单元；

所述第一检测单元包括：

用于设置于所述第一部件的一侧，发射平行激光的第一激光发射器，其中所述第一激光发射器发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向相垂直；

以及，用于设置于所述第一部件的另一侧，接收由所述第一激光发射器发射的平行激光，并在接收到的激光光量小于预定激光光量时，发送所述第一信号的第一激光接收器。

2.根据权利要求1所述的尺寸检测装置，其特征在于，

所述第二检测单元包括：

用于设置于所述第二部件的一侧，发射平行激光的第二激光发射器，其中所述第二激光发射器发射的平行激光所形成的平面与所述第一方向相垂直；

以及，用于设置于所述第二部件的一侧，接收由所述第二激光发射器发射的平行激光，并在所接收到的激光光量小于预定激光光量时，发送所述第二信号的第二激光接收器。

3.根据权利要求1所述的尺寸检测装置，其特征在于，

所述移动单元包括：用于在所述第一方向上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第一移动机构。

4.根据权利要求3所述的尺寸检测装置，其特征在于，

所述第一移动机构包括：

用于固定于被测件上的固定板；

用于安装所述第一检测单元的第一连接杆；

用于安装所述第二检测单元的第二连接杆；

设置于所述固定板上，并沿所述第一方向延伸的导轨；

设置于所述导轨上，且能够沿所述导轨移动的第一滑块和第二滑块，其中

所述第一滑块与所述第一连接杆连接，用于带动所述第一连接杆移动，

所述第二滑块与所述第二连接杆连接，用于带动所述第二连接杆移动；

以及，用于驱动所述第一滑块和所述第二滑块沿所述导轨移动的驱动结构。

5.根据权利要求4所述的尺寸检测装置，其特征在于，

所述驱动结构包括：

沿所述第一方向设置的第一丝杆，所述第一丝杆与所述第一滑块配合；

沿所述第一方向设置的第二丝杆，所述第二丝杆与所述第二滑块配合；

用于驱动所述第一丝杆的第一驱动电机；

以及，用于驱动所述第二丝杆的第二驱动电机。

6.根据权利要求3所述的尺寸检测装置，其特征在于，

所述第一部件和所述第二部件均为沿第二方向延伸的柱状结构，所述第二方向垂直于所述第一方向；

所述移动单元还包括：用于在所述第二方向上移动所述第一检测单元和所述第二检测单元的第二移动机构。

7.根据权利要求6所述的尺寸检测装置，其特征在于，

所述第二移动机构包括：

用于驱动所述第一检测单元在所述第二方向上移动的第一气缸；

以及用于驱动所述第二检测单元在所述第二方向上移动的第二气缸。

8.根据权利要求1所述的尺寸检测装置，其特征在于，

所述尺寸检测装置还包括用于控制所述移动单元的控制单元；

所述控制单元包括：

存储模块，用于存储所述第一检测单元和所述第二检测单元的预定位置信息；

控制模块，用于根据所述存储模块所存储的预定位置信息，控制所述移动单元将所述第一检测单元移动至所述第一预定位置，和/或，控制所述移动单元将所述第二检测单元移动至所述第二预定位置。