[发明专利]用于关联原子分辨率层析成像分析的可延展薄片的制作

权利要求书

1.一种分析样品的方法，包括：

使用聚焦离子束，通过处理大块材料来形成厚度小于200nm且包括感兴趣区域的薄片；

使用透射电子显微术形成所述薄片内的感兴趣区域的图像；

在使用透射电子显微镜形成感兴趣区域的图像后将材料沉积到所述薄片上以形成具有嵌入的所述薄片的较厚结构，所述材料被沉积到所述薄片的处于所述感兴趣区域上方的面上；

通过重新定形位于嵌入的所述薄片的暴露表面上的材料来从具有嵌入的所述薄片的较厚结构形成针形样品，所述针形样品包括所述感兴趣区域；和

使用原子探针显微术形成所述针形样品中感兴趣区域的图像。

2.如权利要求1所述方法，其中使用原子探针显微术形成感兴趣区域的图像包括在不同深度形成所述针形样品的多个图像。

3.如权利要求1或2所述方法，其中使用透射电子显微术形成感兴趣区域的图像包括以相对于电子束的不同角度形成所述样品的图像以通过层析成像术形成感兴趣区域的三维图像。

4.如权利要求1或2所述方法，还包括将从所述透射电子显微镜得到的信息与从原子探针显微镜得到的信息在显示器上组合。

5.如权利要求1或2所述方法，其中将材料沉积到所述薄片上包括沉积具有场蒸发属性的材料，所述场蒸发属性表现感兴趣区域内的元素成分。

6.如权利要求1或2所述方法，还包括将所述薄片定位到与透射电子显微镜系统和原子探针显微镜系统两者都兼容的载片上。

7.如权利要求6所述方法，其中所述薄片具有顶表面并且以顶表面基本水平的取向被定位在载片上。

8.如权利要求6所述方法，其中所述薄片具有顶表面并且以顶表面基本垂直的取向被定位在载片上。

9.如权利要求6所述方法，其中所述薄片具有顶表面并且以与顶表面连接到载片的相反取向被定位在载片上。

10.如权利要求1或2所述方法，其中将材料沉积到所述薄片上包括沉积质量不同于感兴趣区域的质量的材料。

11.如权利要求10所述方法，其中所沉积的材料包括硅、镍、钴、和/或铬。

12.如权利要求1或2所述方法，其中所述感兴趣区域位于距离针形样品的尖端的30nm和2微米之间。

13.一种用于在原子探针显微镜上分析的样品，其中所述样品通过以下步骤形成：

使用聚焦离子束，通过处理大块材料来形成厚度小于200nm且包括感兴趣区域的第一层，其中所述第一层内的感兴趣区域的图像能够通过使用透射电子显微术形成；

在使用透射电子显微术形成感兴趣区域的图像后将第二层材料沉积到所述第一层上以形成具有嵌入的所述第一层的较厚结构，所述第二层材料被沉积到所述第一层的处于所述感兴趣区域上方的面上；

通过重新定形位于嵌入的所述第一层的暴露表面上的第二层材料来从具有嵌入的所述第一层的较厚结构形成针形样品，所述针形样品包括所述感兴趣区域，其中所述针形样品的感兴趣区域的图像能够通过使用原子探针显微术形成，

其中第二层材料具有场蒸发属性，所述场蒸发属性表现感兴趣区域内的元素成分；并且

所述样品是针形的并具有基本上尖锐的锥形尖端。

14.如权利要求13所述样品，其中感兴趣区域被包含在针形样品的尖锐的锥形尖端中。

15.如权利要求13或14所述样品，还包括支撑所述样品的载片，所述载片与安装所述样品的透射电子显微镜系统和原子探针显微镜系统两者都兼容。