[发明专利]集成电路标准样片特性参量测量装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及微电子测试与计量技术领域，特别涉及一种集成电路标准样片特性参量测量装置及方法。

背景技术

集成电路标准样片(简称标准样片)是已确定一种或多种特性参量的专用集成电路，主要用于集成电路测试系统的校准、实验室比对等。通过对标准样片的特性参量进行测量从而得出标准样片的定值结果，只有经过严格定值的标准样片才具有可溯源性，从而具备校准集成电路测试系统的能力。

目前对标准样片特性参量的测量需要部分或完全的借助集成电路测试系统构成标准样片的测量回路。由于集成电路测试系统的量值准确度水平大体相当，通过现有的测量方法无法使标准样片具备优于集成电路测试系统的准确度水平，因此现有的测量方法限制了标准样片的使用范围，使标准样片仅能用于量值比对而无法完成量值传递/溯源。

发明内容

为了解决现有的标准样片特性参量测量结果无法使得标准样片具备优于集成电路测试系统的准确度水平，限制了标准样片的使用范围，使标准样片仅能用于量值比对而无法完成量值传递/溯源的缺点，提出一种集成电路标准样片特性参量测量装置及方法，本发明通过将标准样片的测量回路与工作回路区分开，在保证测量结果准确度满足量值溯源要求的基础上，该方法具有通用性，可以满足不同型号标准样片的特性参量测量需求。

一种集成电路标准样片特性参量测量装置，其包括如下单元：

管脚划分单元，用于将标准样片的管脚划分为特性参量测量管脚与控制管脚，将特性参量所在的管脚均作为特性参量测量管脚，将余下管脚均作为控制管脚；

信号划分单元，用于以管脚划分单元中对管脚的划分为依据，对应的将管脚信号划分为测量信号与控制信号；其中，测量信号用以形成标准样片的测量回路；控制信号用以形成标准样片的工作回路；

测量回路建立单元，用于建立外接仪表、标准样片、集成电路测试系统分别与特性参量测量板的电连接，控制外接仪表产生测量信号，通过特性参量测量板将测量信号分配到标准样片的特性参量测量管脚上形成标准样片独立的测量回路；

工作回路建立单元，用于通过集成电路测试系统产生控制信号，并通过特性参量测量板将控制信号分配到标准样片的控制管脚上形成标准样片的工作回路；

测量结果获取单元，用于通过使得标准样片在控制信号和测量信号的共同作用下工作，控制外接仪表对标准样片反馈的测量信号进行测定得到特性参量的测量结果。

一种集成电路标准样片特性参量测量方法，其包括如下步骤：

S1、将标准样片的管脚划分为特性参量测量管脚与控制管脚，将特性参量所在的管脚均作为特性参量测量管脚，将余下管脚均作为控制管脚；

S2、以步骤S1中对管脚的划分为依据，对应的将管脚信号划分为测量信号与控制信号；其中，测量信号用以形成标准样片的测量回路；控制信号用以形成标准样片的工作回路；

S3、建立外接仪表、标准样片、集成电路测试系统分别与特性参量测量板的电连接，控制外接仪表产生测量信号，通过特性参量测量板将测量信号分配到标准样片的特性参量测量管脚上形成标准样片独立的测量回路；

S4、集成电路测试系统产生控制信号，并通过特性参量测量板将控制信号分配到标准样片的控制管脚上形成标准样片的工作回路；

S5、标准样片在控制信号和测量信号的共同作用下工作，控制外接仪表对标准样片反馈的测量信号进行测定得到特性参量的测量结果。

本发明提供的集成电路标准样片特性参量测量装置及方法具有以下优点：(1)将标准样片的管脚划分为特性参量测量管脚与控制管脚，并针对特性参量测量管脚形成物理上独立的测量回路，避免了测量回路受到工作回路的干扰；(2)利用测试系统已有资源构成标准样片的工作回路，有利于降低成本；(3)既使标准样片正常工作，又保证了特性参量的测量准确度。

附图说明

图1为本发明实施例的集成电路标准样片特性参量测量装置结构框图；

图2为集成电路标准样片特性参量测量原理图；

图3为测量回路构建示意图。

具体实施方式

如图1、2、3所示，一种集成电路标准样片特性参量测量装置，其包括如下单元：

管脚划分单元10，用于将标准样片1的管脚划分为特性参量测量管脚与控制管脚，将特性参量所在的管脚均作为特性参量测量管脚，将余下管脚均作为控制管脚。