[发明专利]用于形成金属化薄膜屏带的喷涂装置挡板在审
申请号: | 201510169476.2 | 申请日: | 2015-04-10 |
公开(公告)号: | CN104775091A | 公开(公告)日: | 2015-07-15 |
发明(设计)人: | 钱泽友;束长青;朱永伦 | 申请(专利权)人: | 安徽铜峰电子股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人: | 王挺 |
地址: | 244000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 形成 金属化 薄膜 喷涂 装置 挡板 | ||
1.用于形成金属化薄膜屏带的喷涂装置挡板,所述挡板(1)内侧设有储存屏蔽油蒸汽的储气腔(11),挡板(1)上设有沿长度方向分布的向薄膜表面喷涂屏蔽油的喷嘴(2),喷嘴(2)中间有与储气腔(11)相通的喷油孔(21),其特征是:储气腔(11)顶部在每个喷嘴的喷油孔(21)进口端设有截面扩大的用来缓冲压力的分储气腔(22),分储气腔(22)的深度在0.1~0.15cm。
2.根据权利要求1所述的用于形成金属化薄膜屏带的喷涂装置挡板,其特征是:每个分储气腔(22)的容积是相应喷嘴的喷油孔(21)容积的3~6倍。
3.根据权利要求1或2所述的用于形成金属化薄膜屏带的喷涂装置挡板,其特征是:每个分储气腔(22)的容积由两端向中间逐渐增加。
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