[发明专利]双层式负载腔室的独立回填及抽气结构

权利要求书

1.双层式负载腔室的独立回填及抽气结构，其特征在于：它包括下层腔体、上层腔体、上层腔室A、上层腔室B、下层腔室C、下层腔室D、上层回填组件、下层抽气管路、下层回填组件、上层抽气管路、上层抽气管道结构、上层回填管道结构、下层回填管路结构及下层抽气管路结构，上述下层腔体与上层腔体为独立结构，通过定位将两层腔体连接在一起成为双层式负载腔室：

所述上层腔体上的抽气管道结构及回填管道结构左右对称，分别连通到上层腔室A、上层腔室B，上层腔室A、上层腔室B通过上层抽气管道结构和上层回填管道结构而连通；

所述下层腔体上的抽气管道结构及回填管道结构左右对称，分别连通到下层腔室C、下层腔室D，下层腔室C、下层腔室D通过下层抽气管道结构和下层回填管道结构而连通；

所述上层回填组件与上层回填管道结构连接；下层回填组件与下层回填管路结构连接；

所述上层抽气管路与上层抽气管道结构连接，下层抽气管道结构与下层抽气管路结构连接，上、下层单独回填，回填位置靠近传片口且位于基板支架下面。

2.如权利要求1所述的双层式负载腔室的独立回填及抽气结构的控制方法，其特征在于：所述下层回填管道与上层回填管道上分别有控制阀AB，当控制阀A打开，控制阀B关闭时，可实现下层腔体的回填，反之可实现上层腔体的回填；当控制阀A，B同时打开，可实现两层腔体的同时回填，上层抽气管路和下层抽气管路上分别有角阀AB，当角阀A打开，角阀B关闭时，可实现上层腔体的抽气，反之可实现下层腔体的抽气；当角阀A，B同时打开，可实现两层腔体的同时抽气，另外，当控制阀B、角阀A打开，控制阀A、角阀B关闭时，可实现上层腔体抽气和回填的同时操作，四组阀可任意组合控制，按需求操作。