[发明专利]脆性材料基板的搬送方法及搬送装置在审
| 申请号： | 201510178389.3 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105270889A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 村上健二;武田真和;田村健太;音田健司;木下知子;秀岛护 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65H3/08 | 分类号： | B65H3/08;B65H3/48 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种脆性材料基板的搬送方法，其是搬送脆性材料基板的搬送方法，
利用吸附垫吸引所述脆性材料基板，
通过使所述吸附垫上升而使所吸附的脆性材料基板上升，
在使所述吸附垫上升时从邻接于脆性材料基板的位置自喷嘴集中地喷出空气，
通过使所述吸附垫移动而搬送所述脆性材料基板。
2.一种脆性材料基板的搬送装置，其是搬送脆性材料基板的搬送装置，具备：
线性滑块，设置于梁；
搬送头，构成为沿着所述线性滑块移动自如；
吸附垫，安装在所述搬送头的下表面且吸附所述脆性材料基板；
抽风器，从所述搬送头的吸附垫抽吸空气；
基板保持部，积层并保持所述脆性材料基板；
喷嘴，邻接于所述基板保持部而安装，且朝向上升的所述脆性材料基板而设置；以及
压缩泵，经由导管而连结在所述喷嘴，从所述喷嘴喷出空气。
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