[发明专利]一种镀膜后的蓝宝石晶片的清洗方法

权利要求书

1.一种镀膜后的蓝宝石晶片的清洗方法，包括采用含流水线、喷淋装置和滚刷装置的平板清洗机对其清洗，其清洗步骤包括，

步骤A、洗剂滚刷喷淋洗：使用中性清洗剂对所述镀膜后的蓝宝石晶片进行滚刷刷洗和上下喷淋洗，其中上喷淋压力≥下喷淋压力；

且步骤A具体包括先后进行的如下1)、2)和3)三段：

1)洗剂滚刷洗：用4～7％的中性清洗剂，在50±5℃的条件下进行刷洗；

2)洗剂滚刷喷淋洗：用2～4％的中性清洗剂，在50±5℃的条件下进行上下喷淋和刷洗；

3)洗剂滚刷喷淋洗：用1～2％的中性清洗剂，在50±5℃的条件下进行上下喷淋和刷洗；

步骤B、高温纯水喷淋洗：使用纯水对完成步骤A后的蓝宝石晶片进行纯水喷淋洗，其中上喷淋压力≥下喷淋压力；且步骤B中的喷淋温度≤步骤A中的喷淋温度；

且步骤B具体包括先后进行的如下4)和5)两段：

4)高温纯水滚刷喷淋洗：用温度为45±5℃的纯水上下喷淋且进行滚刷清洗；

5)高温纯水喷淋清洗：用温度为45±5℃的纯水上下喷淋清洗；

步骤C、低温纯水喷淋洗：使用纯水在温度为0～25℃的温度下对完成步骤B后的蓝宝石晶片进行纯水喷淋洗，其中上喷淋压力≥下喷淋压力；

步骤D、风刀吹干：使用风刀从上下两个方向吹干已完成步骤C的蓝宝石晶片，且上风刀气压≥下风刀气压。

2.根据权利要求1所述方法，其特征在于，还包括步骤D后的步骤E、去静电：使用离子风机除静电。

3.根据权利要求1所述方法，其特征在于，步骤C中的喷淋温度为15～25℃。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述方法，其特征在于，所有滚刷的毛刷转速均相同，且为250±30r/min。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述方法，其特征在于，镀膜后蓝宝石晶片尺寸长×宽×高为134mm×63mm×0.80mm。