[发明专利]一种微结构阵列器件模芯制造方法有效
| 申请号： | 201510193828.8 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN104972271B | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 张效栋;房丰洲 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B23Q3/12 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微结构 阵列 器件 制造 方法 | ||
1.一种微结构阵列器件模芯制造方法，包括下列的步骤：
(1)准备用于制备注塑模芯的金属薄片(1)；
(2)准备圆柱夹具(22)，根据加工机床可加工范围选择圆柱基底(2)；在圆柱基底上沿轴向开设有用于固定紧固金属薄片(1)的部件的凹槽(3)；紧固金属薄片(1)的部件为两个平板(4)，用于夹持金属薄片(1)的两端，平板(4)位于凹槽(3)内并与圆柱基底(2)连接，圆柱基底(2)的半径为R；
(3)将圆柱夹具(22)安装于加工机床上，圆柱夹具(22)的一端通过真空吸附固定于机床主轴(23)，金刚石刀具(21)垂直圆柱基底轴线放置，使用金刚石刀具(21)对圆柱侧面进行超精密切削，保证表面平整光滑，加工完毕后取下圆柱夹具(22)；
(4)将金属薄片(1)包裹于圆柱基底(2)上，并紧固圆柱夹具(22)使金属薄片压紧圆柱基底(2)的表面，并一起再次安装于加工机床上；
(5)再次对包裹金属薄片(1)的圆柱侧面进行切削，保证表面平整光滑；
(6)取下包裹金属薄片的圆柱夹具(22)，测量包裹了金属薄片的圆柱半径R2，并再次将包裹金属薄片的圆柱夹具(22)固定于加工机床上；
(7)根据测量好的圆柱半径R2，并结合被加工微结构轮廓进行加工路径设计；
(8)进行微结构单元加工；
(9)加工完微结构后，松卸圆柱夹具，将加工后的金属薄片从圆柱夹具上剥离，对加工微结构区域进行剪裁并适当压平作为注塑模芯(7)。
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