[发明专利]光学传感器

说明书

技术领域

本公开涉及光学传感技术领域，尤其涉及光学传感器。

背景技术

光学传感器广泛适用于不同的应用与产品中，例如摄影机、扫描器、复印机等。在不同技术领域中所使用的光学传感器设计为因应不同目的。不同形式的改良应用于合适的技术领域中。

为了改良光学传感器的效能与尺寸缩小，使用不同的光学传感器的设计。评估效能的方式之一为量测光学传感器的量子效率。量子效率为撞击光学元件的光子百分比，其产生电荷载体。其为光学传感器对于光的电子敏感性的量测。

发明内容

本公开的一些实施例提供一种光学传感器，其包括半导体块，其包括前侧与背侧；导波区，其位于该半导体块的该背侧上方，其包括核心层，该导波区用于引导入射光；以及光感测区域，其位于该半导体块中，其包括多接合光二极管，该光感测区域用于感测发射光。

本公开的一些实施例提供一种光学传感器，其包括半导体块，其包括前侧与背侧；导波区，其包括核心层，该导波区用于引导入射光；光感测区域，该光感测区域用于感测发射光；以及互连区，其位于该前侧上方，该互连区用于耦合该光感测区域，其中该互连区位于该光感测区域与该导波区之间。通过本发明提供的光学传感器，通过在生物样品与互连之间放置光二极管，从影像传感器的电子元件分离光学元件。金属互连将来自样品的光开通，因而降低光的损失，并且可达到高量子效率。随着光感测区域越接近样品，光感测区域暴露至更高强度的待测光。

附图说明

由以下详细说明与附随附图得以最佳了解本公开的各方面。注意，根据产业的标准实施方式，各种特征并非依比例绘示。实际上，为了清楚讨论，可任意增大或缩小各种特征的尺寸。

图1至4为根据本公开的一些实施例说明光学传感器的剖面图。

图5至29为根据本公开的一些实施例说明制造光学传感器的方法的操作的剖面图。

图30至31为根据本公开的一些实施例说明光学传感器的剖面图。

图32为根据本公开的一些实施例说明光学传感器的剖面图。

附图标记说明：

8 光

20入射部

21光栅结构

23样品放置部

25通路结构

27介电层、核心层

28介电层

28上包覆层

30滤光层

31阻层

33离子植入操作

51磊晶区

52隔离区

53源极区域

54漏极区域

55光感测区域

56栅极介电

57栅极电极

58栅极结构

59晶体管

70介电层

71第一层通路、接点

72互连

73互连区

75层间介电(ILD)层

81光

82光

83光

88反射光

100 光学传感器

105 光学传感器

200 导波区

231 样品

278 导波部

281 覆盖层

282 介电层、下包覆层

511 半导体块

551、559、558 接点插塞

551、558、559 重掺杂区域

552 浅槽区

553 区域

554 中间槽区

555 区域

557 深槽区

561 栅极介电层

570 掺杂区

571 栅极电极层

578 高掺杂区

579 高掺杂区

800 前侧光学传感器

S1前侧

S2背侧

S23 侧壁

S27 上表面

S45、S235、S534、S523界面

S55 顶部表面

S57 顶部表面

S100暴露部

S105暴露部

具体实施方式