[发明专利]辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉有效
申请号: | 201510203266.0 | 申请日: | 2015-04-25 |
公开(公告)号: | CN104810309B | 公开(公告)日: | 2018-02-09 |
发明(设计)人: | 袁向东;许颖;袁瑒 | 申请(专利权)人: | 北京金晟阳光科技有限公司;莱芜金晟阳光精密设备有限公司;袁向东 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18;F27B9/02;F27B9/06;F27B9/24;F27B9/36 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人: | 马俊荣 |
地址: | 100102 北京市朝阳区北苑路*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辊道式 太阳电池 烧结 辐照 退火 一体 连续 | ||
1.一种辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:由上料区(1)、烧结区(2)、烧结冷却区(3)、辐照退火区(5)、退火冷却区(6)和下料区(7)组成,电池片(8)在一组水平排列的辊道(9)上传输,并依次经过上述各区,一次性完成太阳电池的烧结和辐照退火过程;
在所述的辊道(9)的上方设置有光源(11)、在辊道(9)的下方设置有加热装置(10),或者在辊道(9)的下方设置有光源(11)、在辊道(9)的上方设置有加热装置(10),电池片(8)在传输过程中,其正面朝向光源(11),其背面朝向加热装置(10)。
2.根据权利要求1所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:所述的光源(11)为卤素灯、氙灯、白炽灯或LED灯。
3.根据权利要求1所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:所述的加热装置(10)为红外灯管、电热丝或热风机。
4.根据权利要求1所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:在所述光源(11)与电池片(8)之间,设置一层透光隔热材料层(12),将光源(11)隔离在电池片(8)加热区域之外。
5.根据权利要求4所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:在安装光源(11)的腔室内,设置有对光源(11)进行冷却的吹风冷却装置或排风装置。
6.根据权利要求4所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:所述的透光隔热材料层(12)材质为石英玻璃或钢化玻璃。
7.根据权利要求1所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:通过加热装置(10)对电池片(8)的加热温度是100℃—300℃。
8.根据权利要求1所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:所述光源(11)的辐照度是50mW/cm2—200mW/cm2。
9.根据权利要求1所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:所述辊道(9)的材质为石英陶瓷、石英玻璃、氧化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、不锈钢或铝合金。
10.根据权利要求1所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:所述的辊道(9)为实心辊道或空心辊道,辊道(9)的形状为等径的圆柱状、台阶状、圆锥台状、螺纹状或圆环状。
11.根据权利要求1~10任一所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,其特征在于:在烧结冷却区(3)和辐照退火区(5)之间,设置有缓冲区(4),缓冲区(4)内设置有可对烧结后的电池片(8)进行加热及保温的加热保温装置,或者缓冲区(4)内设置将烧结后的电池片(8)暂时存储的储存装置,或者缓冲区(4)内设置将烧结后的电池片(8)单列分成多列传输到辐照退火区(5)的分列装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造