[发明专利]辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉有效
申请号: | 201510203266.0 | 申请日: | 2015-04-25 |
公开(公告)号: | CN104810309B | 公开(公告)日: | 2018-02-09 |
发明(设计)人: | 袁向东;许颖;袁瑒 | 申请(专利权)人: | 北京金晟阳光科技有限公司;莱芜金晟阳光精密设备有限公司;袁向东 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18;F27B9/02;F27B9/06;F27B9/24;F27B9/36 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人: | 马俊荣 |
地址: | 100102 北京市朝阳区北苑路*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辊道式 太阳电池 烧结 辐照 退火 一体 连续 | ||
技术领域
本发明涉及一种辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,可用于太阳电池的烧结和辐照退火处理。
背景技术
在太阳电池的整个生产工艺流程中,扩散、印刷和烧结三道工序是最主要的。其中,烧结工艺主要用于烘干印刷在硅片表面的浆料,烧掉从浆料中挥发出的有机溶剂,同步烧结太阳电池硅片的正反面,使印刷至硅片上浆料中的金属电极与硅片形成良好的欧姆接触,烧结质量的好坏直接影响太阳电池的转换效率。通常情况下,太阳电池用链式烧结炉烧结后,即可做成组件,投入太阳能电站使用。
太阳电池因为硼氧对的存在,在使用过程中长期光照环境下会发生效率衰减,尤其是近几年兴起的PERC电池,这种衰减尤为严重。研究表明,预先使用一种特定的光源在一定温度条件下对电池片进行辐照退火处理,会有效防止这种衰减现象发生。但是,目前尚没有专门对电池片进行辐照退火处理的设备。
为此,申请人发明了一种辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,使电池片在辊式炉中完成烧结后、直接连续完成辐照退火处理,从根本上解决辐照退火工艺的规模化生产问题。
发明内容
根据以上现有技术的不足,本发明所要解决的技术问题是:提供一种辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,从根本上解决辐照退火工艺的规模化生产问题,从而最大限度地解决太阳电池在使用过程中的衰减问题。
本发明所述的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,由上料区、烧结区、烧结冷却区、辐照退火区、退火冷却区和下料区组成,电池片在一组水平排列的辊道上传输,并依次经过上述各区,一次性完成太阳电池的烧结和辐照退火过程。
在所述的辊道的上方设置有光源、在辊道的下方设置有加热装置,或者在辊道的下方设置有光源、在辊道的上方设置有加热装置,电池片在传输过程中,其正面朝向光源,其背面朝向加热装置。
所述的光源为卤素灯、氙灯、白炽灯或LED灯。
所述的加热装置为红外灯管、电热丝或热风机。
在所述光源与电池片之间,设置一层透光隔热材料层,将光源隔离在电池片加热区域之外。
在安装光源的腔室内,设置有对光源进行冷却的吹风冷却装置或排风装置,对光源进行冷却。
所述的透光隔热材料层材质为石英玻璃或钢化玻璃。
通过加热装置对电池片的加热温度是100℃—300℃,优选150℃—250℃
优选的是,光源的辐照度是50mW/cm2—200mW/cm2,80mW/cm2—150mW/cm2。
所述辊道的材质为石英陶瓷、石英玻璃、氧化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、不锈钢或铝合金等对电池片没有污染、耐高温的材料。
所述的辊道为实心辊道或空心辊道,辊道的形状为等径的圆柱状、台阶状、圆锥台状、螺纹状或圆环状,辊道可以单向转动、也可以往复转动。
在烧结冷却区和辐照退火区之间,设置有缓冲区,缓冲区内设置有可对烧结后的电池片进行加热及保温的加热保温装置,或者缓冲区内设置将烧结后的电池片暂时存储的储存装置,或者缓冲区内设置将烧结后的电池片单列分成多列传输到辐照退火区的分列装置。在缓冲区可以保持一定的温度将烧结后的电池片直接送入辐照退火区,也可以将烧结后的电池片暂时存储,也可以将单列分成多列传输到辐照退火区。
所述的缓冲区加热保温装置的设定温度是50℃—200℃。
与现有技术相比,本发明具有的有益效果是:
本发明提供的辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉,将烧结工艺和辐照退火工艺有机地组合在一起、形成一条连续的生产线,并且电池片通过一组水平排列的辊道连续传输、在水平行进过程中连续完成烧结和辐照退火处理,具有能耗低、运行平稳、产能大、连续化生产的特点,推广应用后,可以最大限度地解决太阳电池使用过程中衰减的问题。
附图说明
图1是本发明结构示意图
图中:1、上料区;2、烧结区;3、烧结冷却区;4、缓冲区;5、辐照退火区;6、退火冷却区;7、下料区;8、电池片;9、辊道;10、加热装置;11、光源;12、透光隔热材料层。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施例做进一步描述。
实施例1
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京金晟阳光科技有限公司;莱芜金晟阳光精密设备有限公司;袁向东,未经北京金晟阳光科技有限公司;莱芜金晟阳光精密设备有限公司;袁向东许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造