[发明专利]一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法

权利要求书

1.一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法，其特征在于包括下列步骤：

（一）选取平的硬质衬底和柔性衬底，清洗、吹干、烘干，所述硬质衬底材料为石英片，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺PI、对苯二甲酸乙二醇酯PET、或聚丙烯己二脂PPA；

（二）衬底粘合，利用粘合材料将硬质衬底和柔性衬底较好地粘合、固定，所述衬底粘合材料为光刻胶。

2.根据权利要求1所述的一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法，其特征在于：所述步骤（一）硬质衬底石英片，50mm*50mm，柔性衬底，20mm*20mm，清洗方法如下：

（1）先将其分别放入丙酮溶液中在室温下超声清洗4分钟—6分钟，去除表面分子型沾污；

（2）然后分别置于乙醇溶液中在室温下超声清洗3—5分钟，去除表面残余丙酮；

（3）再分别用去离子水在室温下超声清洗3—5分钟，去除残余乙醇及离子型沾污；

（4）高纯氮气吹干，烘干炉90℃下干燥3—5分钟。

3.根据权利要求1所述的一种利用光刻胶固定柔性材料衬底的方法，其特征在于：所述步骤（二）衬底粘合包括：将硬质衬底石英片固定在匀胶仪上，在石英片中间位置滴光刻胶，0.2ml—0.5ml，5—10秒后，光刻胶扩散开，再将清洗好的柔性衬底置于光刻胶上面，待石英与柔性材料通过光刻胶全部接触后，启动匀胶仪，转速450—550转/分钟，时间30秒—120秒，使柔性衬底通过光刻胶与硬质衬底紧紧粘合在一起。