[发明专利]柔性显示装置的制造方法

说明书

本发明提供一种柔性显示装置的制造方法，包括如下步骤：步骤1、提供柔性基板、及数个夹具；步骤2、用所述数个夹具夹住柔性基板的边缘；步骤3、对柔性基板进行曝光、显影、蚀刻、薄膜沉积、退火、成膜制程；各制程中，通过调整夹具，调整柔性基板的平整度及收缩量；通过调整夹具，来控制柔性基板的角度。本发明通过夹具夹紧柔性基板的边缘，在柔性基板发生形变挠曲时，可对夹具进行调整，减少柔性基板形变挠曲，可以精准控制制程精度，避免形变挠曲影响制程精度；不同制程，可调节柔性基板为水平、倾斜，垂直等方式放置，夹具可施加不同力量，以控制精度，减少基板形变；无需贴附、剥离等工艺。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示装置的制造方法。

背景技术

目前，在显示技术领域，柔性显示器的显示技术种类较多，例如包括传统的液晶显示技术、双稳态液晶显示技术、有机发光二极管(organic light-emitting diode，OLED)显示技术、电泳显示技术、电致变色(electrochromism，EC)显示技术与电致发光(electroluminescent，EL)显示技术等。其中柔性有机发光二极管(flexible organiclight-emitting diode，FOLED)显示器相比其他柔性显示器具有更多的优点，例如自发光显示、响应速度快、亮度高、视角宽、成本低等。而且，FOLED显示器是基于柔性有机材料的显示器，可以被卷曲、折叠、甚至作为可穿戴计算机的一部分，因此在显示效果好的便携产品和军事等特殊领域有非常广泛的应用。

传统的柔性显示器主要采用厚度小于100微米的柔性基材例如超薄玻璃、不锈钢薄膜以及塑料基材等。由于柔性基板存在易碎、易褶皱和变形等问题，实际生产过程中主要采用两种类型的生产方法：1、如附图1所示，将柔性基板100贴附在玻璃基板200上，或通过涂布的方式，涂布在刚性基板上，再进行薄膜晶体管阵列制作、OLED制作及封装等工序生产，最后，将玻璃基板等刚性基材剥离；该方法，制程过程容易产生应力，柔性基板容易发生翘曲变形，精度差，需要刚性基板作为衬底，制程完成后需要剥离，有静电破坏等风险；2、如附图2所示，将柔性基板100’通过卷绕方式卷绕在卷筒200’上，再进行生产，该方法，精度差，拉力控制难，工艺不成熟。

因此，如何固定柔性基板成为柔性显示器制作中的关键技术之一。

发明内容

本发明的目的在于提供一种柔性显示装置的制造方法，可在柔性显示装置的制程过程中调整柔性基板的平整度及收缩量，并控制柔性基板的角度，提高制程精度。

为实现上述目的，本发明提供一种柔性显示装置的制造方法，包括如下步骤：

步骤1、提供柔性基板、及数个夹具；

步骤2、用所述数个夹具夹住柔性基板的边缘；

步骤3、对柔性基板进行曝光、显影、蚀刻、退火、成膜制程；各制程中，通过调整夹具，调整柔性基板的平整度及收缩量；通过调整夹具，来控制柔性基板的角度。

步骤3中，在进行曝光制程时，通过调整夹具，来微调柔性基板的形状，以控制曝光精度。

步骤3中，在进行退火制程时，减小夹具对柔性基板的作用力，以减小柔性基板的形变。

步骤3中，在进行曝光制程时，通过调整夹具，使柔性基板保持水平。

步骤3中，在进行显影、蚀刻制程时，通过调整夹具，使柔性基板细微倾斜。

步骤3中，在成膜制程时，通过调整夹具，使柔性基板处于垂直状态。

所述柔性基板呈矩形，所述夹具为四个，步骤2中，所述柔性基板的四角分别被四个夹具夹紧。

所述柔性基板呈矩形，所述夹具为两个，步骤2中，所述柔性基板的相对两边分别被所述两个夹具夹紧。